[发明专利]感光树脂组合物及利用该组合物形成图案的方法有效
申请号: | 201380071394.3 | 申请日: | 2013-12-26 |
公开(公告)号: | CN104937491B | 公开(公告)日: | 2020-01-14 |
发明(设计)人: | 尹赫敏;朴廷敏;金智贤;李政洙 | 申请(专利权)人: | 东进世美肯株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/028;G03F7/26;H01L21/027 |
代理公司: | 11399 北京冠和权律师事务所 | 代理人: | 朱健;陈国军 |
地址: | 韩国仁*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光 树脂 组合 利用 形成 图案 方法 | ||
本发明提供一种感光树脂组合物。本发明一实施例的感光树脂组合物通过使用肟类光起始剂、多官能性单体、三聚氰胺交联剂、硅烷偶联剂,可形成能同时满足解析度和黏着力等性质的有机绝缘膜。
技术领域
本发明涉及一种感光树脂组合物及利用该组合物形成图案的方法。
背景技术
一般来说,平板显示装置是当前广泛使用的显示装置,例如有液晶显示装置(Liquid crystal display;LCD)和有机发光显示装置(Organic light emittingdisplay;OLED)等多种类型。
在形成这种平板显示装置的过程中,为了薄膜的构图,可采用感光工艺,这时采用光阻材料。或者可通过对光阻材料进行曝光和显影直接形成薄膜。
采用这种光阻剂可形成绝缘膜、柱形间隔物、外覆层或滤色层,但用于形成光阻剂的感光树脂组合物的成分结构,对解析度、黏着力及残膜率等会产生影响。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种解析度及残膜率优异的感光树脂组合物。
此外,本发明要解决的技术问题是提供一种显示装置,该显示装置在形成显示装置的有机薄膜时,不会产生绿化(greenish)缺陷,并且黏着力优异。
本发明一实施例的感光树脂组合物,包含:通过使不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或者所述不饱和羧酸和所述不饱和羧酸酐的混合物,与烯烃类不饱和化合物或者所述烯烃类不饱和化合物的混合物进行共聚,所形成的丙烯酸类共聚物;由以下化学式1或者化学式2表示的光起始剂;多官能丙烯酸酯低聚物;具有乙烯性不饱和键的多官能性单体;以及三聚氰胺交联剂。
[化学式1]
[化学式2]
在化学式1中,R1为碳原子数为1至8的烷基,R2为苯基或者碳原子数为1至8的烷基,R3至R9分别独立地为氢、卤原子或者碳原子数为1至8的烷基;在化学式2中,R1为碳原子数为1至8的烷基,R2至R11分别独立地为氢、卤原子或者碳原子数为1至8的烷基。
所述三聚氰胺交联剂可由以下化学式3表示。
[化学式3]
其中,R1、R2、R3分别独立地为-CH2O(CH2)nCH3(其中n为0至3的整数);R4、R5、R6分别独立地或者同时为氢、-(CH2)OH或-CH2O(CH2)nCH3(其中n为0至3的整数)。
所述感光树脂组合物可进一步包含硅烷偶联剂。
所述硅烷偶联剂可包括选自(3-缩水甘油氧基丙基)三甲氧基硅烷、(3-缩水甘油氧基丙基)三乙氧基硅烷、(3-缩水甘油氧基丙基)甲基二甲氧基硅烷、(3-缩水甘油氧基丙基)甲基二乙氧基硅烷、(3-缩水甘油氧基丙基)二甲基乙氧基硅烷、3,4-环氧基丁基三甲氧基硅烷、3,4-环氧基丁基三乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三乙氧基硅烷、氨基丙基三甲氧基硅烷、氨基丙基三乙氧基硅烷、3-三乙氧基硅烷基-N-(1,3二甲基-亚丁基)丙基胺、N-2(氨基乙基)3-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-2(氨基乙基)3-氨基丙基三乙氧基硅烷、N-2(氨基乙基)3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷以及(3-异氰酸酯丙基)三乙氧基硅烷中的至少一种。
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