[发明专利]用于在衬底之间转移膜的方法和装置

权利要求书

1.一种方法，包括：

在第一衬底的至少一部分表面上形成至少一层材料，其中所述至少一层材料的第一表面与所述第一衬底接触从而限定一界面；

将第二衬底附着于所述至少一层材料的第二表面上；

在所述界面处形成气泡；以及

施加机械力；

从而将所述第二衬底和所述至少一层材料从所述第一衬底共同地分离。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一层材料具有小于1nm的厚度。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一层材料包括石墨烯。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一层材料包括石墨烯的单个原子层或多个原子层。

5.根据权利要求1所述的方法，其中通过化学气相沉积将所述至少一层材料形成在所述第一衬底上。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一衬底包括铜、铑、钌、铱、铂、钴、镍、或它们的任何组合，并且所述第二衬底包括聚合物。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一衬底包括铜，并且所述第二衬底包括聚(甲基丙烯酸甲酯)(PMMA)或聚对苯二甲酸乙二酯(PET)。

8.根据权利要求1所述的方法，其中通过至少下述之一将所述第二衬底附着于所述至少一层材料上：粘合剂的粘附、层压、涂覆、喷射和浸渍。

9.根据权利要求1所述的方法，其中在所述界面处形成气泡包括：

形成包括水和电解质的溶液；

至少将所述界面沉浸在所述溶液中；

在所述第一衬底、至少一层材料以及第二衬底处形成阴极；

在所述溶液中远离所述阴极的位置处放置阳极；以及

将电源连接至所述阴极和阳极，并且使所述电源产生的电流流过所述溶液。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述电解质包括氢氧化钠、氢氧化钾、硫酸、和/或氯化钠，并且所述溶液包括每升水0.05摩尔到1摩尔的电解质；所述电流具有0.1–2A/cm²的电流密度。

11.根据权利要求9所述的方法，其中所述阳极布置在分离点附近。

12.根据权利要求1所述的方法，其中施加机械力包括在第一方向上拉起所述第一衬底，并且在第二方向上拉起所述第二衬底以及所述至少一层材料，所述第一方向和第二方向彼此偏离，从而限定分离角。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述分离角包括大约1度到大约90度。

14.根据权利要求1所述的方法，还包括在所述第一衬底的相对表面的至少一部分上形成至少一层第二材料，并且其中所述至少一层第二材料包括聚合物。

15.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一或第二衬底中的一个比另一个衬底柔性小。

16.根据权利要求15所述的方法，还包括将所述至少一层材料附着于第三衬底，并且去除所述第二衬底。

17.根据权利要求1所述的方法，其中：

以供应轧辊的形式提供所述第一衬底；

所述至少一层材料以连续的方式形成在所述第一衬底上；

所述第二衬底以连续的方式被施加至所述至少一层材料的所述第二表面；

所述第二衬底和所述至少一层材料以连续的方式被收集在第一收集轧辊上；并且

所述第一衬底以连续的方式被收集在第二收集轧辊上。

18.根据权利要求1所述的方法，还包括将第一引导膜附着于所述第二衬底和至少一层材料，并且将第二引导膜附着于所述第一衬底。