[发明专利]用于稳定化学气相沉积反应器中的纤丝的方法及系统

权利要求书

1.一种化学气相沉积反应器系统，其包含：

包含多个电连接的底板；

自该底板延伸的纤丝对，各纤丝(i)与该等电连接中的两者电接触且(ii)在该两个电连接间界定导电路径；以及

连接该纤丝对的稳定件。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，该稳定件包含电绝缘材料。

3.根据权利要求1所述的系统，其中，该稳定件包含至少一个电绝缘连接件。

4.根据权利要求3所述的系统，其中，该稳定件进一步包含至少一个支撑杆。

5.根据权利要求4所述的系统，其中，该电绝缘连接件包含至少一个用于承接该至少一个支撑杆的插口。

6.根据权利要求1所述的系统，其中，该稳定件包含由中心电绝缘连接件接合的两个外部支撑杆。

7.根据权利要求6所述的系统，其中，该等外部支撑杆中的至少一者包含硅。

8.根据权利要求6所述的系统，其中，该中心电绝缘连接件包含石英或氮化硅中的至少一者。

9.根据权利要求1所述的系统，其中，该稳定件的长度可调节。

10.根据权利要求1所述的系统，其中，各纤丝包含：

两个垂直纤丝片段，各垂直片段包含与该等电连接中的一者电接触的近端，及远端；以及

在该远端连接该两个垂直纤丝片段的桥。

11.根据权利要求10所述的系统，其中，该稳定件在该等垂直纤丝片段中的一者的该远端附近连接于该等纤丝中的至少一者。

12.根据权利要求10所述的系统，其中，该稳定件在该桥处连接于该等纤丝中的至少一者。

13.根据权利要求10所述的系统，其中，该稳定件与该桥间的稳定件角选自约20度至约160度的范围。

14.根据权利要求13所述的系统，其中，该稳定件角选自约80度至约100度的范围。

15.根据权利要求10所述的系统，其中，各纤丝实质上为U形。

16.根据权利要求1所述的系统，其中，该稳定件及该纤丝对经配置以界定环或部分环中的至少一者。

17.根据权利要求16所述的系统，其中，该至少一个环或部分环包含超过两个纤丝及超过一个稳定件。

18.根据权利要求1所述的系统，其进一步包含第二纤丝对及连接该第二纤丝对的第二稳定件，其中，该纤丝对经配置以在第一电相位起作用，且该第二纤丝对经配置以在第二电相位起作用。

19.一种稳定化学气相沉积反应器中的纤丝的方法，该方法包含以下步骤：

提供自该化学气相沉积反应器中的底板延伸的纤丝对，该底板包含多个电连接，各纤丝(i)与该等电连接中的两者电接触且(ii)在该两个电连接间界定导电路径；以及

连接该纤丝对与至少一个稳定件。

20.根据权利要求19所述的方法，其中，该稳定件包含电绝缘材料。

21.根据权利要求19所述的方法，其中，该稳定件包含至少一个电绝缘连接件。

22.根据权利要求21所述的方法，其中，该稳定件进一步包含至少一个支撑杆。

23.根据权利要求22所述的方法，其中，该电绝缘连接件包含至少一个用于承接该至少一个支撑杆的插口。

24.根据权利要求19所述的方法，其中，该稳定件包含由中心电绝缘连接件接合的两个外部支撑杆。

25.根据权利要求24所述的方法，其中，该等外部支撑杆中的至少一者包含硅。

26.根据权利要求24所述的方法，其中，该中心电绝缘连接件包含石英或氮化硅中的至少一者。

27.根据权利要求19所述的方法，其中，该稳定件的长度可调节。

28.根据权利要求19所述的方法，其中，各纤丝包含：

两个垂直纤丝片段，各垂直片段包含与该等电连接中的一者电接触的近端，及远端；以及

在该远端连接该两个垂直纤丝片段的桥。