[发明专利]细微图案化用表面化学处理装置有效
申请号: | 201380073044.0 | 申请日: | 2013-02-14 |
公开(公告)号: | CN104994964B | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
发明(设计)人: | 内山一美;中嶋秀;杨明;曾湖烈;菅原義之;西本尚弘 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所;公立大学法人首都大学东京;学校法人早稻田大学 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B01J19/00;B05B15/04 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 细微 图案 化用 表面 化学 处理 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种在气相或液相中在玻璃原材料、硅基板等的固相表面进行化学图案化,构建具有特定功能的分子,并进行固相合成反应、分析等的技术。
背景技术
在玻璃原材料、硅基板等的固相表面实施利用某分子而进行的化学处理的情况下,以往以来,通常使用该分子作为溶质溶解在溶剂中的溶液,并采用以下例示的这样的方法。
其中一个方法为使将要实施化学处理的固相完全浸渍在上述溶液中的方法,该情况下,对于固相,利用溶液中的分子以不伴有关于位置的选择性的方式实施化学处理。
另一个方法为在使用分配器(液体定量排出装置)将上述溶液排出的同时在固相表面以所需的图案进行绘制的方法,在该情况下,固相表面因上述的溶质而被位置选择地实施化学处理。在该使用分配器的方法中,通过使分配器的口径缩小化,能够将图案的细微化实现到一定程度。
另外,在微流控技术的领域中,作为向固相表面排出微量的溶液等的技术,公知有使用称为微流控探针、微量移液管的工具的技术。
对于称为微流控探针的工具,在由Si等形成的探针的顶端形成称为台面的平坦面,并且在该台面上相邻地形成两个开口,在使台面相对于固相表面平行相对的状态下,通过在自一个开口将溶液排出的同时、自另一个开口对溶液进行抽吸,从而抑制所排出的溶液扩散,而能够使溶液滞留在狭小的区域内(例如参照非专利文献1)。
另一方面,对于称为微量移液管的工具,在由聚二甲基硅氧烷(PDMS)等形成的移液管的顶端部以一列状形成三个开口,通过在自该中央的开口将溶液等排出的同时自其两侧的开口对溶液进行抽吸,从而与上述相同地抑制溶液等在固相表面扩散(例如参照非专利文献2)。
现有技术文献
非专利文献
非专利文献1:David Juncker et al.“Multipurpose microfluidic probe”nature materials ADVANCE ONLINE PUBRICATION(www.nature.com/naturematerials),24July 2005
非专利文献2:Alar Ainla et al.“A multifunctional pipette”lab chip,2012,12,p1255-1261,The Royal Society of Chemestry
发明内容
发明要解决的问题
在上述的以往的方法中,对于将需要进行化学处理的固相浸渍在溶液中的方法,无法应用于想要对固相表面位置选择性地实施处理的情况。
与此相对,对于使用分配器在固相表面将溶液以所需的图案进行绘制的方法,由于在制造技术方面、维护性的方面对分配器口径的缩小化存在限制,因此对于用于进行化学处理的分子的固定化面积的微小化具有限度。另外,通常排出口的数量为一个,难以排出供反应的两种以上的溶液。
另一方面,在使用微流控技术中的称为微流控探针、微量移液管的工具的情况下,考虑在溶液的排出口的旁边或两旁设置抽吸口,从而抑制溶液在固相表面扩散,因此比上述的方法更能够使图案细微化,但若使用该工具,由于抽吸口相对于排出口存在于一维方向上,因此对溶液向与该一维方向正交的方向的扩散的抑制效果具有限制性,而存在难以在全方位上防止所谓的“渗出”的问题。
本发明即是鉴于这样的情况而做成的,其课题在于提供一种提高溶液中的分子相对于固相表面的固定化的效率、且可靠地抑制排出到固相表面的溶液的扩散从而能够使固定化面积微小化的、位置选择性的细微图案化用表面化学处理装置。
用于解决问题的方案
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