[发明专利]传感器、其形成方法和控制方法

权利要求书

1.用于确定流体的流量参数的传感器，该传感器包括：

聚合物膜；

从所述聚合物膜的表面垂直地延伸出来的长形微结构；和

形成在所述聚合物膜上的应变计；

其中，所述长形微结构被设置为响应流体流动和流体与传感器的交互而使所述聚合物膜产生位移，

其中，所述应变计被配置为基于所述聚合物膜的位移来提供指示所述流体的流量参数的测量值。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述应变计形成在所述聚合物膜的所述表面上。

3.根据权利要求1或2所述的传感器，其特征在于，所述应变计包括蛇形形状，且被设置为环绕所述长形微结构。

4.根据权利要求3所述的传感器，其特征在于，所述蛇形形状由多个第一元件和多个第二元件所限定，所述多个第一元件从所述长形微结构径向延伸出来，所述多个第二元件设置为周向环绕所述长形微结构，

其中，所述多个第二元件中的每个相应的第二元件被设置在所述多个第一元件的相邻第一元件之间，并连接相应的相邻第一元件。

5.根据权利要求4所述的传感器，其特征在于，每个第一元件具有比每个第二元件的周长更长的径向长度。

6.根据权利要求4或5所述的传感器，其特征在于，每个第一元件具有比每个第二元件的宽度更小的宽度。

7.根据权利要求1或2所述的传感器，其特征在于，所述长形微结构具有2500～4000μm的长度。

8.根据权利要求1或2所述的传感器，其特征在于，所述长形微结构具有6～10的高宽比。

9.根据权利要求1或2所述的传感器，其特征在于，所述长形微结构包括利用立体光刻技术形成的长形微结构。

10.根据权利要求1或2项所述的传感器，其特征在于，所述长形微结构包含聚合物。

11.根据权利要求1或2所述的传感器，其特征在于，所述长形微结构具有圆柱形结构。

12.根据权利要求1或2所述的传感器，其特征在于，所述聚合物膜包含液晶聚合物。

13.根据权利要求12所述的传感器，其特征在于，所述液晶聚合物具有圆形形状。

14.根据权利要求1或2所述的传感器，其特征在于，所述传感器进一步包括与所述长形微结构的至少一部分连接的水凝胶，该至少一部分为所述长形微结构的远离所述聚合物的末端。

15.根据权利要求14所述的传感器，其特征在于，所述传感器进一步包括多个纳米纤维，所述多个纳米纤维被所述水凝胶所封装。

16.根据权利要求15所述的传感器，其特征在于，每个纳米纤维具有500～1000nm的直径。

17.形成用于确定流体的流量参数的传感器的方法，该方法包括：

提供聚合物膜；

形成从所述聚合物膜的表面垂直地延伸出来的长形微结构；和

在所述聚合物膜上形成应变计；

其中，所述长形微结构被设置为响应流体流动和流体与传感器的交互而使所述聚合物膜产生位移，且

其中，所述应变计被配置为基于所述聚合物膜的位移来提供指示流体的流量参数的测量值。

18.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，形成长形微结构包括：利用立体光刻技术形成所述长形微结构。