[发明专利]多栅极谐振沟道晶体管

权利要求书

1.一种机械谐振器，包括：

包含鳍状物的非平面晶体管，所述鳍状物包含源极节点和漏极节点以及位于所述源极节点与漏极节点之间的沟道；

第一非平面三栅极，所述第一非平面三栅极在所述鳍状物上并位于所述源极节点与所述漏极节点之间；以及

包含在所述第一三栅极与所述鳍状物之间的第一绝缘部；

其中，当所述第一三栅极被周期性地激活以对所述鳍状物产生周期性向下的力时，所述鳍状物机械地谐振。

2.根据权利要求1所述的设备，包括：

第二非平面三栅极，所述第二非平面三栅极在所述鳍状物上并位于所述源极节点与所述漏极节点之间；以及

包含在所述第二三栅极与所述鳍状物之间的第二绝缘部；

其中，所述沟道的至少一部分在所述第一三栅极与所述第二三栅极之间延伸。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述第一三栅极包含将两个侧壁耦合在一起的顶壁，并且所述两个侧壁彼此不平行。

4.根据权利要求2所述的设备，其中，所述沟道被悬置。

5.根据权利要求2所述的设备，包括直接接触所述鳍状物的层，其中，所述沟道被悬置在形成于所述层中的沟槽上方。

6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述沟槽至少部分地填充有弹性材料。

7.根据权利要求5所述的设备，其中，所述沟槽至少部分是空的。

8.根据权利要求5所述的设备，其中，所述沟槽至少从所述第一三栅极延伸到所述第二三栅极。

9.根据权利要求5所述的设备，其中，当所述第一三栅极和所述第二三栅极被周期性地激活以各自对所述鳍状物产生周期性向下的力时，所述鳍状物在所述沟槽内机械地谐振。

10.根据权利要求2所述的设备，其中，当所述第一三栅极和所述第二三栅极被周期性地激活以各自对所述鳍状物产生周期性向下的力时，所述鳍状物机械地谐振。

11.根据权利要求10所述的设备，还包括选自包含滤波器、谐振器和振荡器的组的部件，其中，所述部件包含所述晶体管并且不包含电感器。

12.根据权利要求10所述的设备，其中，所述周期性向下的力是介电力。

13.根据权利要求10所述的设备，其中，所述鳍状物以取决于从所述第一三栅极延伸到所述第二三栅极的距离的频率机械地谐振。

14.根据权利要求13所述的设备，其中，所述沟道内的载流子迁移率基于所述频率。

15.根据权利要求2所述的设备，其中，当所述第一三栅极和所述第二三栅极被周期性地激活以各自对所述鳍状物产生周期性向下的力时，所述鳍状物在形成于所述鳍状物下方的沟槽内机械地谐振。

16.根据权利要求2所述的设备，包括与所述第一三栅极和所述第二三栅极耦合的附加的鳍状物；其中，当所述第一三栅极和所述第二三栅极被周期性地激活以各自对所述鳍状物和所述附加的鳍状物产生周期性向下的力时，所述鳍状物和所述附加的鳍状物全部都一起同步地谐振。

17.根据权利要求2所述的设备，包括：

附加的源极节点和附加的沟道，所述附加的源极节点被包含在所述鳍状物中，所述附加的沟道位于所述附加的源极节点与所述漏极节点之间；

第三非平面三栅极，所述第三非平面三栅极在所述鳍状物上并位于所述附加的源极节点与所述漏极节点之间；以及

第三绝缘部，所述第三绝缘部被包含在所述第三三栅极与所述鳍状物之间；

其中，机械谐振器包含所述源极节点和所述漏极节点，并且耦合到所述机械谐振器的附加的机械谐振器包含所述附加的源极节点和所述漏极节点。

18.根据权利要求1所述的设备，其中，所述晶体管被形成在位于平面内的衬底上，并且所述鳍状物相对于所述平面正交地谐振。