[发明专利]用于基板的载具

权利要求书

1.一种在基板工艺腔室(600)中用以支撑基板(101)的载具(100)，包括：

基板固定组件，其中所述基板固定组件包括一或多个固定单元(120)，其中各固定单元(120)包括：

边缘接触表面(121)，配置用以接触所述基板(101)的边缘及定义接触位置；

第一固定元件(122)，具有第一表面(124)，所述第一表面配置用以接触所述基板(101)的第一基板表面(102)，其中所述第一固定元件(122)自所述接触位置延伸第一长度(L1)，所述第一长度实质上平行于所述第一基板表面(102)；

第二固定元件(123)，具有第二表面(125)，所述第二表面配置用以接触所述基板(101)的第二基板表面(103)，其中所述第二基板表面(103)相对于所述基板(101)的所述第一基板表面(102)，且其中所述第二固定元件(123)自所述接触位置延伸第二长度(L2)，所述第二长度实质上平行于所述第二基板表面(103)；

力元件(130)，用以利用所述第一固定元件(122)及所述第二固定元件(123)的至少一个向所述基板(101)提供固定力(140)；

其中，所述第一长度(L1)及所述第二长度(L2)之中较短的长度(L1，L2)与所述固定力(140)的组合提供力矩；

其中，所述一或多个固定单元(120)提供每基板边缘长度单位为10牛顿·毫米或更高的力矩。

2.如权利要求1所述的载具(100)，更包括框架(160)，所述框架配置用以接收所述基板(101)于所述框架的基板区域中。

3.如权利要求2所述的载具(100)，其中所述固定组件被固定至所述框架(160)。

4.如权利要求3所述的载具(100)，其中所述固定单元(120)被固定至所述框架(160)。

5.如权利要求1所述的载具(100)，其中所述第二固定元件(123)被固定在位置上，且所述第一固定元件(122)在实质上垂直于所述第二固定元件(123)的所述第二表面(125)的方向上、或在实质上垂直于所述第一基板表面(102)的方向上相对于所述第二固定元件(123)是可移动的。

6.如权利要求1所述的载具(100)，其中所述第一固定元件(122)及所述第二固定元件(123)二者在实质上垂直于所述第一固定元件(122)的所述第一表面(124)及所述第二固定元件(123)的所述第二表面(125)的至少一个的方向上相对于彼此都是可移动的。

7.如权利要求1所述的载具(100)，其中所述力元件(100)连接至所述第一固定元件(122)及所述第二固定元件(123)的至少一个。

8.如权利要求1所述的载具(100)，其中所述力元件(130)包括弹簧、压力弹簧、杠杆、压电装置以及气动装置的至少一个。

9.如权利要求1至8中任一项所述的载具(100)，其中所述边缘接触表面(121)与所述第一固定元件(122)一体成形，或与所述第二固定元件(123)一体成形。

10.如权利要求1至8中任一项所述的载具(100)，其中所述固定单元(120)更包括阻挡元件(126)，所述阻挡元件定义所述边缘接触表面(121)。

11.如权利要求10所述的载具(100)，其中所述阻挡元件(126)与所述第一固定元件(122)一体成形、或与所述第二固定元件(123)一体成形。

12.如权利要求1至8中任一项所述的载具(100)，更包括支撑元件(170)，所述支撑元件配置用以提供用于所述基板(101)的额外的支撑区域。

13.如权利要求12所述的载具(100)，其中所述支撑元件(170)的所述额外的支撑区域提供在实质上平行于所述第二固定元件(123)的所述第二表面(125)的平面上。

14.如权利要求2至4中任一项所述的载具(100)，更包括附加至所述框架(160)的一或多个定位元件(151,152)，所述一或多个定位元件配置用以将所述基板(101)定位在实质上平行于所述第一及所述第二基板表面(102,103)的平面中。