[发明专利]加工工具用硬质被膜及硬质被膜被覆金属加工工具有效
申请号: | 201380075029.X | 申请日: | 2013-03-28 |
公开(公告)号: | CN105051245B | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 樱井正俊;王媺;大地敏弘;须藤祐司;小池淳一;小宫山翔子 | 申请(专利权)人: | OSG株式会社;国立大学法人东北大学 |
主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人: | 李英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加工 工具 硬质 被覆 金属加工 | ||
1.一种工具用硬质被膜,其特征在于,其是被覆设置于工具(18)的表面的工具用硬质被膜(30),
其为通过导入氧而具有微细晶体的以具有NaCl型晶体结构的相为主相的TiCrMoWV的氧碳化物、氧氮化物、或氧碳氮化物;
所述TiCrMoWV的氧碳化物是表示为(TiaCrbMocWdVe)1-x-yCxOy的物质,
其原子比为0.2≤a≤0.7、0.01≤b≤0.4、0.05≤c≤0.5、0<d≤0.05、0<e=1-a-b-c-d≤0.05、0.3≤x+y≤0.6、0<y≤0.15;
所述TiCrMoWV的氧碳氮化物是表示为(TiaCrbMocWdVe)1-x-y-zCxNyOz的物质,
其原子比为0.2≤a≤0.7、0.01≤b≤0.4、0.05≤c≤0.5、0<d≤0.05、0<e=1-a-b-c-d≤0.05、0.3≤x+y+z≤0.6、0<y≤0.5,0<z≤0.15;
所述TiCrMoWV的氧氮化物是表示为(TiaCrbMocWdVe)1-x-yNxOy的物质,
其原子比为0.2≤a≤0.7、0.01≤b≤0.4、0.05≤c≤0.5、0<d≤0.05、0<e=1-a-b-c-d≤0.05、0.3≤x+y≤0.6、0<y≤0.15。
2.根据权利要求1的工具用硬质被膜,其特征在于,
所述工具用硬质被膜具有100nm以下的晶体粒径。
3.根据权利要求1的工具用硬质被膜,
所述工具用硬质被膜以0.2~10.0μm厚度的单层被覆所述工具的表面。
4.一种硬质被膜被覆金属加工工具(10),其特征在于,
在表面被覆设置有权利要求1所述的工具用硬质被膜。
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