[发明专利]X线装置及构造物的制造方法

权利要求书

1.一种X线装置，是对被检物体照射X线并检测通过该被检物体的X线，其特征在于具备：

X线源，从发光点射出X线；

载台，支承该被检物体；

检测器，检测从该X线源射出、通过该被检物体的穿透X线的至少一部分；

移动装置，为改变该发光点与该被检物体间的距离、或该发光点与该检测器间的距离的至少一方的距离，而使该X线源、该载台或该检测器之一作为移动物体移动于第1方向；以及

第1测量装置及第2测量装置，是测量在该第1方向的该移动物体的位置；

该第1测量装置与该第2测量装置，是配置在该移动装置的可移动区域中与该第1方向交叉的第2方向；

该第1测量装置及该第2测量装置夹着该X线源的光轴配置；

该第1测量装置的测量位置与该第2测量装置的测量位置加以连结的线，是配置在以该检测器检测通过该被检物体的穿透X线的区域内。

2.根据权利要求1所述的X线装置，其特征在于，该第1测量装置及该第2测量装置被该移动装置支承。

3.根据权利要求2所述的X线装置，其特征在于进一步装备了具有排列于该第1方向的图案、固定配置的第1标尺及第2标尺；

该第1测量装置检测该第1标尺的图案，并且该第2测量装置检测该第2标尺的图案，据以测量该移动物体在该第1方向的位置。

4.根据权利要求3所述的X线装置，其特征在于进一步具备引导该移动装置在该第1方向移动的引导面；

在与支承该被检物体的支承面正交方向，该第1测量装置的该第1标尺的测量位置及该第2测量装置的该第2标尺的测量位置与该引导面相同。

5.根据权利要求4所述的X线装置，其特征在于，该引导面进一步具备第1引导面与第2引导面；

该第1引导面及该第2引导面夹着该X线源的光轴配置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的X线装置，其特征在于，在连结该X线源的发光点与该检测器接受该X线的受光面的外缘而形成的面、与该受光面围绕的区域外侧，配置该第1测量装置及该第2测量装置。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的X线装置，其特征在于具有运算装置，此运算装置是从该X线源对该载台所保持的该被检物体照射X线，该检测器检测通过该被检物体的穿透X线的结果，算出该被检物体的形状。

8.根据权利要求6所述的X线装置，其特征在于具有运算装置，此运算装置是从该X线源对该载台所保持的该被检物体照射X线，该检测器检测通过该被检物体的穿透X线的结果，算出该被检物体的形状。

9.一种构造物的制造方法，其特征在于包含：

作成关于构造物形状的设计信息；

根据该设计信息制作该构造物；

以制作的该构造物为被检物体，使用权利要求1至7中任一项所述的X线装置测量所制作的该构造物的形状；以及

比较该测量所得的形状信息与该设计信息。

10.根据权利要求9所述的构造物的制造方法，其特征在于，是根据比较该形状信息与该设计信息的比较结果，实施该构造物的再加工。

11.根据权利要求10所述的构造物的制造方法，其特征在于，该再加工是根据该设计信息再制作该构造物。