[发明专利]荧光X射线分析装置

权利要求书

1.一种荧光X射线分析装置，其特征在于，包括：

a)X射线源，其用于对试样照射一次X射线；

b)检测器，其用于对通过照射所述一次X射线而从所述试样发出的荧光X射线进行检测；

c)分析腔室，其具备从所述X射线源发出的一次X射线的导入口及所述检测器的检测口，并封闭包含连结所述导入口和所述试样的一次X射线的光路、和连结所述试样和所述检测口的荧光X射线的光路的空间；

d)第一导入单元，其用于通过所述导入口将氦气导入到所述分析腔室内；

e)第二导入单元，其用于通过所述检测口将氦气导入到所述分析腔室内；以及

f)流量控制单元，其对通过所述第一导入单元及所述第二导入单元导入到所述分析腔室内的氦气的流量进行控制。

2.如权利要求1所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述流量控制单元由第一流量控制单元和第二流量控制单元构成，所述第一流量控制单元对通过所述第一导入单元而被导入到所述分析腔室内的氦气的流量进行控制，所述第二流量控制单元对通过所述第二导入单元而被导入到所述分析腔室内的氦气的流量进行控制。

3.如权利要求1或2所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述第一导入单元由第一导入管构成，所述第一导入管的入口侧端部与氦气供应源连接，所述第一导入管的出口侧端部与所述导入口连接，

所述第二导入单元由第二导入管构成，所述第二导入管的入口侧端部与所述氦气供应源连接，所述第二导入管的出口侧端部与所述检测口连接，

所述荧光X射线分析装置包括大气导入单元，所述大气导入单元用于将大气从所述第一导入管及所述第二导入管中的至少一方强制导入到所述分析腔室内。