[发明专利]太阳能电池单元及其制造方法、太阳能电池模块有效
申请号: | 201380076925.8 | 申请日: | 2013-05-28 |
公开(公告)号: | CN105247686B | 公开(公告)日: | 2017-11-14 |
发明(设计)人: | 森川浩昭 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/0236 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人: | 孙蕾 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 单元 及其 制造 方法 模块 | ||
1.一种太阳能电池单元,具备:
第1导电类型的半导体基板,在作为受光面侧的一面侧具有扩散了第2导电类型的杂质元素的杂质扩散层;
防反射膜,被形成在所述半导体基板上的所述一面侧;
受光面侧电极,由栅电极和与所述栅电极导通且比所述栅电极更宽幅的汇流电极构成,该受光面侧电极被形成在所述一面侧并与所述杂质扩散层电连接;以及
背面侧电极,被形成在所述半导体基板的与所述一面侧相对的背面并与所述杂质扩散层电连接,
所述太阳能电池单元的特征在于,
所述受光面侧电极具备第1金属电极层和第2金属电极层,该第1金属电极层是贯通所述防反射膜而与所述半导体基板的一面侧直接接合的金属膏电极层,所述第2金属电极层由与所述第1金属电极层不同并且具有与所述第1金属电极层大致等同的电阻率的金属材料构成,由此,所述受光面侧电极的宽度、剖面积的设计与单独使用所述第1金属电极层形成受光面侧电极的情况相同,
所述第2金属电极层是覆盖所述第1金属电极层的上表面和侧面、并且在所述第1金属电极层的侧面侧形成在所述防反射膜上的镀覆电极层,
所述栅电极的剖面积是300μm2以上,所述栅电极的电极宽度是60μm以下。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池单元,其特征在于,
所述第1金属电极层是银膏电极层,
所述第2金属电极层是铜镀覆电极层。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池单元,其特征在于,
所述第2金属电极层的体积是所述第1金属电极层的3倍以上。
4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的太阳能电池单元,其特征在于,具有:
第3金属电极层,该第3金属电极层是由与所述第1金属电极层以及所述第2金属电极层不同、并且提高所述第1金属电极层与所述第2金属电极层之间的附着强度强化的金属材料构成的镀覆电极层,该第3金属电极层被形成在所述第1金属电极层与所述第2金属电极层之间,并且该第3金属电极层在所述第1金属电极层的侧面侧被形成在所述防反射膜上;以及
第4金属电极层,该第4金属电极层是由与所述第2金属电极层不同并且保护所述第2金属电极层的金属材料构成的镀覆电极层,该第4金属电极层覆盖所述第2金属电极层的上表面和侧面上,并且该第4金属电极层在所述第2金属电极层的侧面侧被形成在所述防反射膜上。
5.根据权利要求4所述的太阳能电池单元,其特征在于,
所述第3金属电极层是镍镀覆层,
所述第4金属电极层是锡镀覆层。
6.根据权利要求5所述的太阳能电池单元,其特征在于,
所述汇流电极的电极宽度是1.5mm以下,
所述汇流电极的根数是3根以上。
7.一种太阳能电池单元的制造方法,其特征在于,包括:
第1工序,在成为第1导电类型的半导体基板的受光面侧的一面侧扩散第2导电类型的杂质元素,在所述半导体基板的一面侧形成杂质扩散层;
第2工序,在所述半导体基板上的所述一面侧形成防反射膜;
第3工序,在所述半导体基板的一面侧,形成与所述杂质扩散层电连接的受光面侧电极;以及
第4工序,在所述半导体基板的另一面侧,形成与所述半导体基板的另一面侧电连接的背面侧电极,
在所述第3工序中的所述受光面侧电极的形成中包含:
在被形成在所述半导体基板的一面侧的所述防反射膜上,通过偏移印刷或者涂布机,涂覆、烧成金属膏,从而形成第1金属电极层的工序,该第1金属电极层是贯通所述防反射膜而与所述半导体基板的一面侧直接接合的金属膏电极层;以及
通过镀覆将第2金属电极层覆盖所述第1金属电极层的上表面和侧面上、且在所述第1金属电极层的侧面侧形成在所述防反射膜上的工序,该第2金属电极层是由与所述第1金属电极层不同并且具有与所述第1金属电极层大致等同的电阻率的金属材料构成的镀覆电极层,由此,所述受光面侧电极的宽度、剖面积的设计与单独使用所述第1金属电极层形成受光面侧电极的情况相同。
8.根据权利要求7所述的太阳能电池单元的制造方法,其特征在于,
所述第1金属电极层是银膏电极层,
所述第2金属电极层是铜镀覆电极层。
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