[发明专利]软钎焊装置和真空软钎焊方法

权利要求书

1.一种软钎焊装置，其中，

该软钎焊装置包括：

腔室，其能够在真空环境下对工件进行软钎焊处理；

操作部，其输入并设定所述腔室内的多个真空压力；

泵，其对所述腔室内进行抽真空；

检测部，其对所述腔室内的压力进行检测；以及

控制部，其用于根据自所述检测部输出的腔室内的压力检测信息调整至由所述操作部设定好的多个真空压力并从开始减压起逐阶段地进行多阶段减压，并且以设定好的各个真空压力保持规定时间。

2.根据权利要求1所述的软钎焊装置，其中，

该软钎焊装置包括气体供给部，该气体供给部向所述腔室内供给非活性气体和活性气体中的至少任意一种气体，

所述控制部对自所述气体供给部向所述腔室内供给的所述气体的流入量进行了调整。

3.根据权利要求2所述的软钎焊装置，其中，

在要将设定好的多个所述真空压力保持规定时间时，所述控制部根据来自所述检测部的腔室内的压力检测信息进行控制而将所述泵维持为规定的转速，并且对所述气体向所述腔室内流入的流入量进行控制，从而将设定好的多个所述真空压力保持规定时间。

4.根据权利要求2所述的软钎焊装置，其中，

在要将设定好的多个所述真空压力保持规定时间时，所述控制部根据来自所述检测部的腔室内的压力检测信息进行控制而使所述气体向所述腔室内流入的流入量恒定，并且对所述泵的转速进行控制，从而将设定好的多个所述真空压力保持规定时间。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的软钎焊装置，其中，

该软钎焊装置包括用于在将所述工件投入到所述腔室内之前将该工件加热到规定温度的第1加热部。

6.根据权利要求5所述的软钎焊装置，其中，

该软钎焊装置包括用于在将所述工件投入到了所述腔室内时将投入到腔室内之前被加热到规定温度后的工件保持为规定温度的第2加热部。

7.一种真空软钎焊方法，其中，

该真空软钎焊方法包括如下工序：

输入并设定多个能够在真空环境下对工件进行软钎焊处理的腔室内的真空压力的工序；

对多个所述真空压力被设定好后的所述腔室内进行抽真空的工序；

对该腔室内的压力进行检测的工序；

根据所述腔室内的压力检测信息和设定好的多个真空压力对该腔室内的多个真空压力进行调整并从开始减压起逐阶段地进行多阶段减压的工序；

以设定好的各个真空压力保持规定时间的工序；以及

在多个所述真空压力被调整后的所述腔室内进行软钎焊处理的工序。

8.根据权利要求7所述的真空软钎焊方法，其中，

该真空软钎焊方法包括在将所述工件投入到所述腔室内之前将工件加热到规定温度的工序。

9.根据权利要求8所述的真空软钎焊方法，其中，

该真空软钎焊方法包括加热工序，在该加热工序中，在将所述工件投入到了所述腔室内时将在投入到腔室内之前被加热到规定温度的工件保持为规定温度。