[发明专利]在包覆的III-V族沟道材料中实现高迁移率的方法在审
申请号: | 201380079215.0 | 申请日: | 2013-09-27 |
公开(公告)号: | CN105900243A | 公开(公告)日: | 2016-08-24 |
发明(设计)人: | G·杜威;M·V·梅茨;N·慕克吉;R·S·周;M·拉多萨夫列维奇;R·皮拉里塞泰;B·舒-金 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 王英;陈松涛 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | iii 沟道 材料 实现 迁移率 方法 | ||
【权利要求书】:
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