[发明专利]介质支承装置

权利要求书

1.一种介质支承装置，所述介质支承装置包括长形吸盘板片，每个吸盘包括真空端口，空气能够通过所述真空端口从所述吸盘排出，每个吸盘还包括与所述真空端口相邻的一系列脊部，其中，每个吸盘包括从所述板片的介质支承表面突出的边沿，其中，所述边沿在柔性环的周边处形成，所述柔性环的周边以间隔而围绕所述真空端口从而使得当支承在所述板片上的介质被吸到所述边沿上时所述环能够远离所述板片的所述表面而弯曲到所述间隔中，以使得所述介质接触所述边沿内的所述一系列脊部而不堵塞所述真空端口。

2.根据权利要求1所述的介质支承装置，其中，所述板片包括：

仅仅长形吸盘；或

长形吸盘和圆形吸盘。

3.根据权利要求1所述的介质支承装置，其中，所述吸盘以图案设置，在所述图案中吸盘的密度在所述板片的不同部分之间变化。

4.根据权利要求1所述的介质支承装置，其中，所述板片包括柔性板片，并且每个长形吸盘包括椭圆的吸盘。

5.一种介质支承装置，包括：

压板，所述压板具有在其内部的真空孔阵列，真空能够通过所述真空孔阵列而施加到在所述压板上的介质，以及

覆盖所述压板的盖，所述盖包括长形形状的吸盘的阵列，每个吸盘具有在其内部的真空端口，所述真空端口与所述压板上的真空孔对齐从而使得真空能够通过所述真空孔而施加至所述吸盘，每个吸盘还具有与所述真空端口相邻的一系列脊部，其中，每个吸盘包括柔性环和在柔性环的周边处形成的边沿，所述柔性环围绕凹陷中的所述真空端口，从而使得在吸力施加到支承在所述盖上的介质时所述环能够弯曲到所述凹陷中，以使得所述介质接触所述边沿内的所述一系列脊部而不堵塞所述真空端口。

6.根据权利要求5所述的介质支承装置，其中，所述盖包括仅仅长形吸盘。

7.根据权利要求5所述的介质支承装置，其中，所述盖能够从所述压板上拆卸。

8.一种介质支承装置，包括：压板，和嵌入所述压板中或为所述压板的一部分的长形吸盘，每个吸盘具有真空端口，空气能够通过所述真空端口从所述吸盘排出，每个吸盘还具有与所述真空端口相邻的一系列脊部，其中，每个吸盘包括柔性环和在柔性环的周边处形成的边沿，所述柔性环围绕凹陷中的所述真空端口，从而使得在吸力施加到支承在所述压板上的介质时所述环能够弯曲到所述凹陷中，以使得所述介质接触所述边沿内的所述一系列脊部而不堵塞所述真空端口。

9.根据权利要求8所述的介质支承装置，还包括嵌入所述压板中或为所述压板的一部分的圆形吸盘。

10.根据权利要求8所述的介质支承装置，其中，所述吸盘以图案设置，在所述图案中吸盘的密度在所述压板的不同部分之间变化。

11.根据权利要求10所述的介质支承装置，其中：

所述吸盘设置在具有第一密度的第一阵列中和具有第二密度的第二阵列中，所述第二密度比所述第一密度小；以及

在所述第一阵列中的吸盘包括圆形吸盘，并且在所述第二阵列中的吸盘包括长形吸盘。

12.一种用于真空压板的可拆卸盖，包括：吸盘板片，每个吸盘具有真空端口，空气能够通过所述真空端口从所述吸盘排出，每个吸盘还具有与所述真空端口相邻的一系列脊部；以及吸盘，其以具有第一密度的第一阵列中和具有第二密度的第二阵列而设置在所述板片上，所述第二密度比所述第一密度小，其中，每个吸盘包括柔性环和在柔性环的周边处形成的边沿，所述柔性环围绕凹陷中的所述真空端口，从而使得在吸力施加到支承在所述板片上的介质时所述环能够弯曲到所述凹陷中，以使得所述介质接触所述边沿内的所述一系列脊部而不堵塞所述真空端口。

13.根据权利要求12所述的盖，其中，所述吸盘的某些或全部是长形吸盘。