[发明专利]光栅耦合结构有效

专利信息
申请号: 201380080460.3 申请日: 2013-10-29
公开(公告)号: CN105765421B 公开(公告)日: 2019-07-09
发明(设计)人: 费边·鲁托弗;马丁·斯塔尔德;纪尧姆·巴塞 申请(专利权)人: 瑞士CSEM电子显微技术研发中心
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18;G02B6/293
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 徐川;姚开丽
地址: 瑞士纳*** 国省代码: 瑞士;CH
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摘要:
搜索关键词: 光栅 耦合 结构
【权利要求书】:

1.一种光栅耦合器(1),包括:

光学基底(2),设置为传递光束;以及

衍射光栅(3),设置在所述光学基底(2)上或嵌入在所述光学基底(2)中,所述衍射光栅(3)包括基本上设置在所述衍射光栅(3)的平面(A)中的衍射光栅元件(4),所述衍射光栅元件(4)针对自身每个横截面来限定所述平面(A)的法线(B),所述法线(B)将所述横截面分隔成两个基本对称的部分,并且所述法线(B)进一步将所述衍射光栅元件(4)分成第一侧(FS)和第二侧(SS),所述第一侧(FS)基本上位于从所述衍射光栅(3)传递的衍射光束的具有最大强度的传播级的前进方向上,所述第二侧(SS)被定向为与所述前进方向相反;

其中,所述衍射光栅元件(4)中的每一个包括单个涂层(5),所述单个涂层(5)被不对称地设置在所述衍射光栅元件(4)上,并且其中,所述单个涂层(5)的大部分被设置到所述第一侧(FS)或所述第二侧(SS),所述单个涂层(5)的小部分被另设置到所述第二侧(SS)或所述第一侧(FS),所述大部分和所述小部分形成所述单个涂层(5);以及

其中,所述光栅耦合器(1)进一步被设置为满足以下条件:

(n1xsin(|α|)+n2)/λxP≥1,

其中,

n1为相对于所述衍射光栅元件(4)的入射光侧的光学介质的折射率,

n2为相对于所述衍射光栅元件(4)的衍射光侧的光学介质的折射率,

|α|为入射在所述光栅耦合器(1)上的光束的入射角的绝对值,

λ为衍射光的波长,以及

P为所述衍射光栅元件(4)的周期,

并且其中,所述光栅耦合器在第一衍射级或第一负衍射级的效率高于50%。

2.根据权利要求1所述的光栅耦合器(1),其中,所述单个涂层(5)为电介质涂层。

3.根据权利要求2所述的光栅耦合器(1),其中,所述电介质涂层为多层电介质涂层。

4.根据权利要求2中任一项所述的光栅耦合器(1),其中,所述电介质涂层的材料从针对介于0.2μm与2μm之间的波长折射率大于1.4的材料中选择。

5.根据权利要求4所述的光栅耦合器(1),其中,所述电介质涂层的材料选自以下材料组:ZnS、或TiO2、或HfO2、或Ta2O5、或ZrO2、或AlN、或Al2O3、或ZnO、或SiO2、或Si3N4、或MgF2、或CaF2、或MgO、或这些材料的任意组合。

6.根据权利要求1所述的光栅耦合器(1),其中,所述单个涂层(5)为金属涂层。

7.根据权利要求1所述的光栅耦合器(1),其中,所述单个涂层(5)为半导体涂层。

8.根据权利要求1所述的光栅耦合器(1),其中,所述单个涂层(5)包括从电介质、金属或半导体中选择的至少两种材料。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的光栅耦合器(1),其中,所述单个涂层(5)包括第一涂层(51)和第二涂层(52),所述第一涂层(51)和所述第二涂层(52)中的每个被不对称地设置。

10.根据权利要求1-8中任一项所述的光栅耦合器(1),其中,所述光学基底(2)为波导,该波导被设置为在所述波导内引导由所述光栅耦合器(1)耦合的耦入光束(11)。

11.根据权利要求1-8中任一项所述的光栅耦合器(1),其中,所述光学基底(2)材料为光学窗口,该光学窗口被设置为由所述衍射光栅(3)经由所述光学窗口传递所述光学窗口中的耦入光束(11)。

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