[发明专利]太阳能电池及其制造方法、太阳能电池模块有效
申请号: | 201380080519.9 | 申请日: | 2013-11-07 |
公开(公告)号: | CN105684158B | 公开(公告)日: | 2017-06-23 |
发明(设计)人: | 田村宣裕;幸畑隼人;浜笃郎 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人: | 金光华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 及其 制造 方法 模块 | ||
1.一种太阳能电池,其特征在于,具备:
第一导电类型的半导体基板,在作为受光面侧的一面侧具有被扩散了第二导电类型的杂质元素的杂质扩散层;
多条受光面侧电极,是通过电极材料膏的印刷而形成于所述一面侧并与所述杂质扩散层电连接的膏电极,并且该多条受光面侧电极在所述半导体基板的面方向上平行地延伸而具有线状形状;以及
背面侧电极,形成于所述半导体基板的另一面侧,
所述杂质扩散层具有多个第一杂质扩散层和第二杂质扩散层,该多个第一杂质扩散层在所述半导体基板的面方向上平行地延伸而位于所述受光面侧电极的下部区域以及从该下部区域扩展的周边区域,并且该多个第一杂质扩散层以第一浓度包含所述杂质元素并具有线状形状,该第二杂质扩散层以比所述第一浓度低的第二浓度包含所述杂质元素,
在所述多个第一杂质扩散层中,随着在所述第一杂质扩散层的宽度方向上接近定位基准点,各个所述第一杂质扩散层的宽度变细。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,
所述多条受光面侧电极的宽度相同,比配置于各自的下部区域的所述第一杂质扩散层的宽度细。
3.根据权利要求1或者2所述的太阳能电池,其特征在于,
所述定位基准点是所述第一杂质扩散层中的所述第一杂质扩散层和所述受光面侧电极的位置对准精度最高的位置。
4.一种太阳能电池的制造方法,其特征在于,包括:
第一工序,使第二导电类型的杂质元素扩散到第一导电类型的半导体基板的成为受光面侧的一面侧而在所述半导体基板的一面侧形成杂质扩散层,该杂质扩散层包括多个第一杂质扩散层和第二杂质扩散层,该多个第一杂质扩散层在所述半导体基板的面方向上平行地延伸并以第一浓度包含所述杂质元素且具有线状形状,该第二杂质扩散层以比所述第一浓度低的第二浓度包含所述杂质元素;
第二工序,通过利用丝网印刷的电极材料膏的印刷而在所述第一杂质扩散层上面形成线状形状的多条受光面侧电极,该多条受光面侧电极在所述面方向上平行地延伸而与所述第一杂质扩散层电连接;以及
第三工序,在所述半导体基板的另一面侧形成与所述半导体基板的另一面侧电连接的背面侧电极,
在所述第一工序中,以随着在所述第一杂质扩散层的宽度方向上接近定位基准点而宽度分别变细的图案来形成多个所述第一杂质扩散层,
在所述第二工序中,使用以同一间隔并列地具有比在所述第一杂质扩散层的宽度方向上最接近所述定位基准点的所述第一杂质扩散层的宽度细的同一宽度的多个开口图案的印刷掩模,使在所述第一杂质扩散层的宽度方向上最接近所述定位基准点的所述第一杂质扩散层和与该第一杂质扩散层的位置对应的所述开口图案的位置对准而在所述多个第一杂质扩散层上印刷所述电极材料膏。
5.根据权利要求4所述的太阳能电池的制造方法,其特征在于,
在所述第一工序中,在所述第一杂质扩散层的图案中的既定的多个部位形成位置对准用的第一对准标志部,
在所述第二工序中,使在所述电极材料膏的印刷图案中在与所述第一对准标志部的位置对应的既定的多个部位所设置的位置对准用的第二对准标志部和对应的位置的所述第一对准标志部位置对准而在所述第一杂质扩散层上面印刷所述电极材料膏,
所述定位基准点是基于所述第一对准标志部和所述第二对准标志部的位置对准的、所述第一杂质扩散层的图案和所述开口图案在所述第一杂质扩散层的宽度方向上的位置对准精度最高的位置。
6.一种太阳能电池模块,其特征在于,该太阳能电池模块是将权利要求1至3中的任意一项所述的太阳能电池的至少2个串联或者并联地电连接而成的。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的