[发明专利]用于有机材料的蒸发源、用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备及蒸发有机材料的方法有效
| 申请号： | 201380081500.6 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN105814231B | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | S·邦格特;U·舒斯勒;J·M·迭戈兹-坎波;D·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/56;C23C14/24;B05D3/04;B05D1/02;B05D1/00;H01L51/00;H01L51/56;C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 有机 材料 蒸发 空腔 沉积 设备 方法 | ||
【说明书】：
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