[发明专利]AC电力连接器、溅射设备及其方法在审
| 申请号： | 201380081666.8 | 申请日： | 2013-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN105830194A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | F·施纳朋伯格;A·赫尔米希;S·凯勒;M·本德 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/34;C23C14/34;H01G5/04;H01G5/06;H01G5/16;H01R24/38;H01R24/40;H03H7/38 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | ac 电力 连接器 溅射 设备 及其 方法 | ||
【说明书】：
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