[其他]惯性力传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及用在车辆或便携式终端等中来检测加速度或角速度等的惯性力的惯性力传感器。 

背景技术

图19是现有的惯性力传感器501的俯视图。惯性力传感器501是检测加速度的加速度传感器。框部1具有按照包围中空区域2的方式环状地连结的固定部1a～1d。梁部3～6的各自的一端与框部1连接，朝中空区域2延伸。锤部7从梁部3的另一端起朝着倾斜的方向延伸。锤部8从梁部5的另一端起朝着倾斜的方向延伸出来。锤部9与梁部4的另一端连接。锤部10a与梁部6的另一端连接。在梁部3的上表面设置有应变电阻11。在梁部5的上表面设置有应变电阻13。在梁部4的上表面设置有应变电阻12。在梁部6的上表面设置有应变电阻14。应变电阻11～14通过布线而被电连接并构成了桥接电路。 

在现有的惯性力传感器501中，对应于被施加的加速度，锤部7～10在上下方向上移位，对应于该移位，应变电阻11～14的电阻值变化。根据基于这些电阻值的变化而从桥接电路输出的信号来检测加速度。 

此外，与惯性力传感器501类似的现有的惯性力传感器例如记载在专利文献1中。 

图20是现有的其他的惯性力传感器502的截面图。惯性力传感器502也是检测加速度的加速度传感器。惯性力传感器502具备：固定部201、以及设置于固定部201的上表面的对置基板208。固定部201具有：外框部203、锤部202、以及一端与外框部203连接且另一端与锤部202连接的应变引起部204。对置基板208按照与锤部202对置的方式与外框部203连接。惯性力传感器502具备：形成于锤部202的上表面的自我诊断用电极207、以及设置于对置基板208的下表面的对置电极206。对置电极206 空出给定的空隙与自我诊断用电极207对置。 

在该构成中，通过对自我诊断用电极207与对置电极206之间施加电压Vd来对锤部202赋予静电力Fd，能仿佛像加了加速度似地使锤部202移位。由此，惯性力传感器502能确认是否在正常地发挥功能。 

与惯性力传感器502类似的现有的惯性力传感器例如记载在专利文献2中。 

在先技术文献 

专利文献 

专利文献1：JP特开2007-85800号公报 

专利文献2：JP特开平5-322925号公报 

实用新型内容

惯性力传感器具备：固定部、与固定部连接的梁部、与梁部的另一端连接且在通过惯性力使梁部变形的同时进行移位的锤部、设置于锤部的导电部、设置于梁部来检测梁部的变形的应变电阻、设置于固定部的第一和第二故障诊断电极、经由梁部来连接第一故障诊断电极与导电部的第一故障诊断布线、以及经由梁部来连接第二故障诊断电极与导电部的第二故障诊断布线。 

该惯性力传感器即使在锤部发生裂化时也不会持续输出错误的输出信号，具有高可靠性。 

附图说明

图1是实施方式1中的惯性力传感器的俯视图。 

图2是实施方式1中的惯性力传感器的俯视图。 

图3是实施方式1中的惯性力传感器的俯视图。 

图4A是实施方式1中的惯性力传感器的俯视图。 

图4B是实施方式1中的惯性力传感器的检测电路的示意图。 

图4C是实施方式1中的惯性力传感器的检测电路的示意图。 

图4D是实施方式1中的惯性力传感器的检测电路的示意图。 

图5是实施方式1中的惯性力传感器的电路图。 

图6是表示实施方式1的惯性力传感器中的故障诊断电路的输出电压的图。 

图7是实施方式2中的惯性力传感器的俯视图。 

图8是实施方式2中的惯性力传感器的电路图。 

图9是实施方式3中的惯性力传感器的俯视图。 

图10是图9所示的惯性力传感器的线10-10处的截面图。 

图11A是实施方式3中的惯性力传感器的示意图。 

图11B是实施方式3中的惯性力传感器的示意图。 

图12是实施方式3中的惯性力传感器的电路图。 

图13是比较例的惯性力传感器的俯视图。 

图14是实施方式4中的惯性力传感器的俯视图。 

图15是图14所示的惯性力传感器的线15-15处的截面图。 

图16A是实施方式4中的惯性力传感器的俯视图。 

图16B是实施方式4中的惯性力传感器的电路图。