[其他]用于使激光束转向的装置

权利要求书

1.一种用于使激光束(2)转向的装置(4)，其用于加工工件的激光加工装置(1)，其包括：

安装体(3)，

具有镜反射表面(15)的结构元件(12)，

柔性元件(13)，通过所述柔性元件能够将所述结构元件(12)与所述安装体(3)直接连接，其中，所述结构元件(12)能够围绕任意的空间轴以偏转角度偏转，

施加力的第一构件(17)和至少一个施加力的第二构件(14)，其中，所述施加力的构件(14，17)中的至少一个能够被控制为使得所述两个施加力的构件(14，17)根据控制吸引或者排斥，

其中，所述施加力的构件(14，17)中的一个与所述结构元件(12)耦合并且这两个施加力的构件(14，17)被布置和共同作用为使得所述结构元件(12)能够围绕所述任意的空间轴以所述偏转角度偏转，

所述装置(4)具有：

用于检测所述结构元件的实际偏转角度的角度检测装置(19)，所述结构元件(12)以所述实际偏转角度偏转；和

根据预定偏转角度和实际偏转角度控制所述结构元件(12)的偏转从而使得所述实际偏转角度与所述预定偏转角度一致的偏转角度修正控制装置(20)。

2.根据权利要求1所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，所述施加力的第一构件(17)是至少一个磁铁或者是至少一个可静电充电的第一构件，所述施加力的第二构件(14)是至少一个具有电磁力场的电流流过元件或者是至少一个可静电充电的第二构件。

3.根据权利要求2所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，所述角度检测装置(19)构造为检测构造为电流流过元件的所述施加力的第二构件(14)的电感。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，所述角度检测装置(19)具有用于检测所述实际偏转角度的检测面，所述检测面设置为使得由镜反射表面(15)或者镜反射表面的背面反射的辅助激光束对准所述检测面并且所述检测面构造为检测所述辅助激光束的位置。

5.根据权利要求1或2所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，所述角度检测装置(19)具有霍尔传感器，所述霍尔传感器构造为检测磁铁的位置变化。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，所述施加力的第一构件(17)在所述结构元件(12)上设置在与所述镜反射表面(15)背离的区域中。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，所述施加力的第一构件(17)在所述结构元件(12)上设置在所述镜反射表面(15)的侧面。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，所述施加力的第二构件(14)设置在所述镜反射表面(15)的侧面。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，所述施加力的第二构件(14)设置在所述镜反射表面(15)的下方。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，所述柔性元件(13)设置在所述镜反射表面(15)的下方。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，所述柔性元件(13)设置在所述镜反射表面(15)的侧面。

12.根据权利要求1至3中任一项所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，所述结构元件(12)的偏转角度是至少±5°。

13.根据权利要求12所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，所述结构元件(12)的偏转角度是至少±10°。

14.根据权利要求1至3中任一项所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，其具有MEMS构件。

15.根据权利要求1至3中任一项所述的用于使激光束转向的装置(4)，其中，射到所述镜反射表面(15)上的激光束(2)形成具有预定形状和最大预定尺寸的激光点，所述镜反射表面(15)具有与所述激光点的预定形状和最大预定尺寸基本上一致的形状和尺寸。