[其他]照明器

权利要求书

1.一种照明器，其包括：

多个红外IR辐射源；

反射器，适用于从所述IR辐射源接收IR辐射；

致动器，适用于选择性地将反射器移动至多个不同的位置，以将IR辐射源中被选择的不同的多个IR辐射源发出的IR辐射导向晶圆上的器件；以及

其中所述照明器适用于和晶圆探测器一起实现，以测试所述器件。

2.如权利要求1所述的照明器，进一步包括导光管，该导光管包括反射内表面，该反射内表面适用于将IR辐射源中被选择的一个IR辐射源的IR辐射传送至所述器件。

3.如权利要求2所述的照明器，其中所述导光管包括变迹器，该变迹器适用于调整传送至所述器件的IR辐射的照明分布。

4.如权利要求2所述的照明器，其中所述反射内表面包括金、铝、银、铜或铑。

5.如权利要求1所述的照明器，进一步包括遮光器，该遮光器适用于选择性地将IR辐射源中被选择的一个IR辐射源的IR辐射阻断或传送至所述器件。

6.如权利要求1所述的照明器，其中每个IR辐射源适用于发射其相关的IR辐射，该IR辐射具有与其他IR辐射源不同的强度和/或波长。

7.如权利要求1所述的照明器，其中每个IR辐射源是黑体，该黑体适用于加热至不同温度以发射其相关的IR辐射，该IR辐射具有与其他IR辐射源不同的强度。

8.如权利要求1所述的照明器，其中所述反射器包括至少一个金、铝、银、铜或铑反射表面。

9.如权利要求1所述的照明器，其中：

所述致动器适用于通过将反射器旋转至第一个位置来移动反射器，以将来自第一IR辐射源的IR辐射导向所述器件，并且通过将所述反射器旋转至第二个位置来移动反射器，以将来自第二IR辐射源的IR辐射导向所述器件；并且

所述第一和第二IR辐射源基本彼此相对放置。

10.如权利要求1所述的照明器，其中所述器件是成像传感器，该成像传感器包括响应于由反射器导向的IR辐射的辐射热测量仪。

11.如权利要求10所述的照明器，进一步包括晶圆探测器，其中所述晶圆探测器包括测试电路，该测试电路适用于响应由所述辐射热测量仪接收的IR辐射，检测来自所述成像传感器的信号。