[发明专利]一种超高时间分辨空间相移面成像任意反射面速度干涉仪

权利要求书

1.一种超高时间分辨空间相移面成像任意反射面速度干涉仪，其特征为所述干涉仪包括脉冲激光源、输入干涉测速腔、输出干涉测速腔、分束镜、反射镜、成像镜头和CCD相机；所述脉冲激光源发射的脉冲进入输入干涉测速腔，经过输入干涉测速腔输出的脉冲由成像透镜聚焦到待测靶面，从待测靶面发射回的脉冲由成像镜头收集并用分束镜分光到反射镜上再反射到输出干涉腔，经过输出干涉测速腔输出的梳状干涉条纹由CCD相机记录。

2.根据权利要求1所述的一种超高时间分辨空间相移面成像任意反射面速度干涉仪，其特征为所述输入干涉测速腔和输出干涉测速腔分别包括一个干涉反射镜、两个小角度分束镜和一个标准具，所述输入干涉测速腔和输出干涉测速腔的脉冲输入输出口分别设置一个小角度分束镜，小角度分束镜的一侧设置标准具，另一侧设置干涉反射镜。

3.根据权利要求2所述的一种超高时间分辨空间相移面成像任意反射面速度干涉仪，其特征为所述小角度分束镜的一侧靠近输出端位置设置干涉反射镜，所述小角度分束镜的一侧靠近输入端位置设置标准具。

4.根据权利要求1所述的一种超高时间分辨空间相移面成像任意反射面速度干涉仪，其特征为所述反射镜与输出干涉测速腔之间设置起偏器，所述输出干涉测速腔的干涉反射镜与小角度分束镜之间设置波片，所述CCD相机与输出干涉测速腔之间设置有渥拉斯顿棱镜。

5.根据权利要求1所述的一种超高时间分辨空间相移面成像任意反射面速度干涉仪，其特征为所述CCD相机为两个。

6.一种超高时间分辨空间相移面成像任意反射面速度干涉仪光路，其特征为包括脉冲激光源L、两个干涉测速腔、分束镜B、反射镜M、成像镜头I和CCD相机，所述光路分为两个部分，即输入干涉测速腔部分和输出干涉测速腔部分：

输入干涉腔部分：

脉冲激光源L发射的脉冲进入输入干涉测速腔，脉冲通过小角度分束器B1分为两路脉冲，一路脉冲被小角度分束器B1反射到标准具E1，然后通过标准具E1再次反射到小角度分束器B2，脉冲透射过小角度分束器B2依次经过分束镜和成像镜头聚焦照射到待测靶面T；

另一路脉冲透射过小角度分束器B1照射到干涉反射镜M1上，由干涉反射镜M1反射到小角度分束器B2上，再经过小角度分束器B2反射依次经过分束镜B和成像镜头I聚焦到待测靶面T；

输出干涉腔部分：

由待测靶面T反射回的脉冲经过成像镜头I、分束镜和反射镜M由起偏器P起偏后进入输出干涉测速腔，脉冲通过小角度分束器B3分为两路脉冲，其中一路脉冲透射过小角度分束器B3照射到标准具E2上，经过标准具E2反射到小角度分束器B4上，通过小角度分束器B4反射和透射分为两路脉冲， 两路脉冲通过渥拉斯顿棱镜WP由CCD相机记录；

小角度分束器B3分出的另一路脉冲通过小角度分束器B3反射到干涉反射镜M2上，再经干涉反射镜M2反射透过波片W照射到小角度分束器B4上，通过小角度分束器B4反射和透射分为两路脉冲， 两路脉冲通过渥拉斯顿棱镜由CCD相机记录。

7.根据权利要求7所述的一种超高时间分辨空间相移面成像任意反射面速度干涉仪光路，其特征为脉冲通过输入干涉测速干涉腔后分成两组具有时间差的脉冲，再通过输出干涉测速腔后每一组脉冲再次分为具有时间差的两组脉冲；其中第一组的第二个脉冲和第二组胡第一个脉冲满足时间相干性条件，能够形成干涉。

8.根据权利要求8所述的一种超高时间分辨空间相移面成像任意反射面速度干涉仪光路，其特征为每一组脉冲输入可以由CCD相机记录四幅相移干涉图像。