[发明专利]用散热窗口片作为滤波元件的小型化单频光泵浦垂直外腔面发射激光器

权利要求书

1.一种用散热窗口片作为滤波元件的小型化单频光泵浦垂直外腔面发射激光器，其特征在于：包括用于提供泵浦光的泵浦源、用于在所述泵浦光的激励下发出光束的半导体芯片和固定于所述半导体芯片的出射面上的散热窗口片；所述半导体芯片包括能够发射具有一定波长的光束的多量子阱有源层和用于将该多量子阱有源层发射的光束反射至多量子阱有源层外部的布喇格反射层；所述散热窗口片的出射面镀高反膜；该高反膜与布喇格反射层之间形成具有滤波功能的谐振微腔。

2.根据权利要求1所述的用散热窗口片作为滤波元件的小型化单频光泵浦垂直外腔面发射激光器，其特征在于：所述散热窗口片的出射面还镀增透膜。

3.根据权利要求2所述的用散热窗口片作为滤波元件的小型化单频光泵浦垂直外腔面发射激光器，其特征在于：所述散热窗口片由高导热透光材料制成。

4.根据权利要求3所述的用散热窗口片作为滤波元件的小型化单频光泵浦垂直外腔面发射激光器，其特征在于：所述半导体芯片还包括热沉和高势垒窗口层；热沉、布喇格反射层、多量子阱有源层、高势垒窗口层和散热窗口片按顺序叠合固定。

5.根据权利要求4所述的用散热窗口片作为滤波元件的小型化单频光泵浦垂直外腔面发射激光器，其特征在于：所述用散热窗口片作为滤波元件的小型化单频光泵浦垂直外腔面发射激光器还包括设于泵浦源与半导体芯片之间的准直透镜和聚焦透镜。