[发明专利]用垂直外腔面发射激光器泵浦的宽带可调谐光参量振荡器

说明书

技术领域

本发明涉及一种激光发生装置，尤其涉及一种用垂直外腔面发射激光器泵浦的宽带可调谐光参量振荡器。

背景技术

垂直外腔面发射激光器作为新型半导体激光器是当前光电子领域较热门的研究课题之一，与边发射半导体激光器相比，垂直外腔面发射激光器以其输出光功率高、光束质量好和易于二维阵列的特点在激光显示、激光通信、材料加工、医疗及国防工程等领域具有广泛的应用前景。现有的垂直外腔面发射激光器主要是在光泵浦激励方式下工作，并大致通过以下几种方式进行调谐：一，使用机械可移动部件，如衍射光栅或微电子机械系统等作为波长调节单元的系统，其存在的问题是调谐范围有限，不适合应用在光纤通信中；二，通过调节温度，加热或冷却部件来选定波长的系统，其存在的问题是通过温度调谐因其固有的特性，调谐速度慢，可应用的范围很小；因此，为解决上述问题，需要一种能够获得更大波长范围的激光发生装置，以满足使用需要。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提供一种用垂直外腔面发射激光器泵浦的宽带可调谐光参量振荡器，其发射波长范围广，覆盖了从可见光到近红外的宽广波段，其光束质量优良，且具有数十nm的调谐范围，能够满足使用需要。

本发明的用垂直外腔面发射激光器泵浦的宽带可调谐光参量振荡器，包括用于提供泵浦光的泵浦源、用于在所述泵浦光的激励下发出光束的半导体芯片和设于所述半导体芯片的出射光路上的用于对其光束进行调谐的外境组件；所述外境组件包括用于反射半导体芯片所发出的光束的第一反射镜、与第一反射镜正对设置形成第一谐振腔的第二反射镜和用于对第一反射镜与第二反射镜之间的光束进行一次调谐的双折射滤波片；

进一步，所述外境组件还包括设于第二反射镜的出射光路上的用于对第二反射镜的出射光进行耦合输出的输出镜、用于对第二反射镜与输出镜之间的光束进行二次调谐的非线性晶体；

进一步，所述外径组件还包括设于第二反射镜与非线性晶体之间的分光镜和与分光镜正对设置形成第二谐振腔的第三反射镜；

进一步，所述第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜均为宽带反射镜并且为凹面镜；

进一步，所述半导体芯片包括能够发射具有一定波长的光束的多量子阱有源层和用于将该多量子阱有源层发射的光束反射至多量子阱有源层外部的布喇格反射层；

进一步，所述半导体芯片还包括热沉和高势垒窗口层；热沉、布喇格反射层、多量子阱有源层和高势垒窗口层按顺序叠合固定；

进一步，所述用垂直外腔面发射激光器泵浦的宽带可调谐光参量振荡器还包括设于泵浦源与半导体芯片之间的准直透镜和聚焦透镜。

本发明的有益效果是：本发明的用垂直外腔面发射激光器泵浦的宽带可调谐光参量振荡器，利用外境组件结合不同材质的半导体芯片能使发射波长范围广，覆盖了从可见光到近红外的宽广波段，其光束质量优良，且具有数十nm的调谐范围，能够满足使用需要。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

图1为本发明的结构示意图，如图所示：本实施例的用垂直外腔面发射激光器泵浦的宽带可调谐光参量振荡器，包括用于提供泵浦光的泵浦源1、用于在所述泵浦光的激励下发出光束的半导体芯片2和设于所述半导体芯片2的出射光路上的用于对其光束进行调谐的外境组件；所述外境组件包括用于反射半导体芯片2所发出的光束的第一反射镜3、与第一反射镜3正对设置形成第一谐振腔的第二反射镜4和用于对第一反射镜3与第二反射镜4之间的光束进行一次调谐的双折射滤波片5；第一反射镜3的光轴与半导体芯片2的出射光路之间的夹角位于5-60度之间；通过旋转双折射滤波片5使之与第一反射镜3到第二反射镜4之间的光束呈不同角度能够压窄作为泵浦源1的外腔面发射激光器的激光线宽，同时对其进行调谐，结合不同材质的半导体芯片2能使发射波长范围广，覆盖了从可见光到近红外的宽广波段，其光束质量优良，且具有数十nm的调谐范围。