[发明专利]检查工具的检查方法

权利要求书

1.一种检查工具的检查方法，该检查方法用于检查：

基板，其形成有多个配线图案；

基板检查装置，其具有检查该基板的配线图案好坏的检查单元；以及

检查工具，其将该配线图案与该检查单元电导通连接，

该检查方法的特征在于，

将所述检查工具安装于所述基板检查装置，

在未将所述基板安装于所述基板检查装置的状态下，选择与被设定为接触多个检查用探针的一个配线图案接触的所述多个检查用探针作为一侧，且选择除了被选为所述一侧的检查用探针之外的检查用探针作为另一侧，

利用所述检查单元，在所述一侧的检查用探针组与所述另一侧的检查用探针组之间产生规定的电位差，

计算出产生所述电位差时的所述一侧的检查用探针组与所述另一侧的检查用探针组间的绝缘状态，

根据所述计算结果，判断所述一侧的检查用探针组与所述另一侧的检查用探针组间的绝缘状态的好坏。

2.根据权利要求1所述的检查工具的检查方法，其特征在于，

为了利用所述检查单元在所述一侧的检查用探针组与所述另一侧的检查用探针组之间产生规定的电位差，

将所述一侧的检查用探针组与所述检查单元的上游侧端子串联，

将所述另一侧的检查用探针组与所述检查单元的下游侧端子串联。

3.根据权利要求1或2所述的检查工具的检查方法，其特征在于，

根据所述计算结果进行的所述检查工具的好坏判断是通过将所述计算结果与预先设定的基准值进行比较来实施的。