[发明专利]一种主动冷却型一维波面校正装置

权利要求书

1.一种主动冷却型一维波面校正装置，包括底座、驱动器和镜片，其特征为所述底座顶部设置有冷却腔，冷却腔一端设置进水口、另一端设置出水口；所述冷却腔的底部设置有通孔，所述驱动器设置在底座上并穿过冷却腔底部的通孔与盖在冷却腔上的镜片粘结。

2.根据权利要求1所述的一种主动冷却型一维波面校正装置，其特征为所述冷却腔和底座采用殷钢材料制成。

3.根据权利要求2所述的一种主动冷却型一维波面校正装置，其特征为所述冷却腔底部通孔与驱动器之间的缝隙采用防水胶密封，所述镜片与冷却腔之间的缝隙采用防水胶密封。

4.根据权利要求3所述的一种主动冷却型一维波面校正装置，其特征为所述冷却腔中的冷却物质为水、或为液氮、或为低温气体。

5.根据权利要求1所述的一种主动冷却型一维波面校正装置，其特征为所述驱动器与镜片粘结处之间设置有加强筋。

6.根据权利要求1所述的一种主动冷却型一维波面校正装置，其特征为沿着镜片宽度方向每一行设置有单根或者多根驱动器，如为多根驱动器，每行驱动器并联连接，同时工作。

7.根据权利要求6所述的一种主动冷却型一维波面校正装置，其特征为所述每排驱动器的排布方式与需要矫正的一维波面形态相匹配。