[发明专利]制造具有高量子效率的光伏器件的方法有效
申请号: | 201410006499.7 | 申请日: | 2014-01-07 |
公开(公告)号: | CN104518052B | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 程子桓 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/20;H01L31/0749;H01L31/0296 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人: | 章社杲,孙征 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 具有 量子 效率 器件 方法 | ||
1.一种制造光伏器件的方法,包括:
在衬底上方形成包括吸收材料的吸收层;
在所述吸收层上方形成缓冲层;
在所述缓冲层上方形成正面透明层;以及
在所述吸收层上方形成所述缓冲层的步骤之后,在温度介于100℃至500℃的条件下,将所述光伏器件暴露于热中持续多个周期,总持续时间介于10分钟至30分钟的范围内,以将Cd2+从所述缓冲层扩散至所述吸收层。
2.根据权利要求1所述的方法,还包括:
在所述衬底上方形成所述吸收层的步骤之前,在所述衬底上方形成背面接触层。
3.根据权利要求1所述的方法,其中,
在所述缓冲层上方形成所述正面透明层的步骤之后,将所述光伏器件暴露于所述热中。
4.根据权利要求1所述的方法,还包括:
在所述正面透明层上方形成抗反射层。
5.根据权利要求4所述的方法,其中,
在所述正面透明层上方形成所述抗反射层的步骤之后,将所述光伏器件暴露于所述热中。
6.根据权利要求1所述的方法,其中,
所述吸收层中的所述吸收材料选自由铜铟镓硒化合物(CIGS)和碲化镉(CdTe)组成的组;以及
所述缓冲层包括选自由CdS和CdSe组成的组中的缓冲材料。
7.一种制造光伏器件的方法,包括:
在衬底上方形成背面接触层;
在所述衬底上方形成包括吸收材料的吸收层;
在所述吸收层上方形成缓冲层;
在所述缓冲层上方形成正面透明层;以及
在所述缓冲层上方形成所述正面透明层的步骤之后,在温度介于100℃至500℃之间的条件下,将所述光伏器件暴露于热中持续多个周期,总持续时间介于10分钟至30分钟的范围内,以将Cd2+从所述缓冲层扩散至所述吸收层。
8.根据权利要求7所述的方法,还包括:
在所述正面透明层的上方形成抗反射层。
9.根据权利要求7所述的方法,其中,
在所述正面透明层上方形成抗反射层的步骤之后,将所述光伏器件暴露于热中。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的