[发明专利]适于保护热电偶的管套及测量反应腔内温度的方法在审
| 申请号： | 201410006622.5 | 申请日： | 2014-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN103698028A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 顾武强;潘琦;王强 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01K1/08 | 分类号： | G01K1/08;G01K7/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张亚利;骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 适于 保护 热电偶 测量 反应 温度 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种适于保护热电偶的管套，其特征在于，所述管套包括一密封端和一开口端。
2.如权利要求1所述的管套，其特征在于，所述管套为石英管套。
3.如权利要求1所述的管套，其特征在于，所述管套为圆柱形，所述管套的直径为5-15mm，长度为0.5-2m。
4.如权利要求1所述的管套，其特征在于，所述管套的厚度为1-2mm。
5.一种测量反应腔内温度的方法，其特征在于，包括：
提供一热电偶，和权利要求1-4任一所述的管套，所述热电偶包括测温端和接线端；
将所述测温端置于所述反应腔内，所述接线端穿过所述反应腔的底部置于所述反应腔外；
所述测温端套入所述管套内，且所述管套的开口端与所述反应腔的底部连接。
6.如权利要求5所述的测量反应腔内温度的方法，其特征在于，所述测温端和接线端相垂直。
7.如权利要求5所述的测量反应腔内温度的方法，其特征在于，所述测温端的长度为0.5-2m。
8.如权利要求5所述的测量反应腔内温度的方法，其特征在于，所述接线端的长度为0.1-0.5m。
9.如权利要求5所述的测量反应腔内温度的方法，其特征在于，所述管套的直径比所述测温端的直径大1-2mm。
10.如权利要求5所述的测量反应腔内温度的方法，其特征在于，所述管套的开口端通过含氟橡胶与所述反应腔的底部连接。
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