[发明专利]基于MEMS芯片的露点检测装置无效
| 申请号： | 201410007381.6 | 申请日： | 2014-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN103743783A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 刘清惓;谢钟镭;邓俊;张加宏 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01N25/68 | 分类号： | G01N25/68;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 210044 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 mems 芯片 露点 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.基于MEMS芯片的露点检测装置，包括散热片，固定在散热片上的制冷机，贴合在制冷机上表面的镜面，其特征在于：所述基于MEMS芯片的露点检测装置还包括：透明板阵列以及支撑板，所述支撑板通过微机械加工工艺制备在镜面上，所述透明板阵列通过微机械加工工艺制备在支撑板上。
2.基于MEMS芯片的露点检测装置，包括散热片，固定在散热片上的制冷机，贴合在制冷机上表面的镜面，其特征在于：所述基于MEMS芯片的露点检测装置还包括由“π”型透明板一体化成型的透明板阵列，所述“π”型透明板通过微机械加工工艺制备在镜面上。
3.根据权利要求1或2所述的露点检测装置，其特征在于：透明板阵列由碳化硅或氮化铝制成。
4.根据权利要求1所述的露点检测装置，其特征在于：所述支撑板由高导热材料制成。
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