[发明专利]一种用于非球面光学模具在机检测的新装置

权利要求书

1.一种用于非球面光学模具在机检测的新装置，其包括一激光器，其特征在于：沿激光器产生激光的水平前进方向依序设置光学扩束系统、分光镜、聚焦转换透镜、被测非球面模具；所述激光再次经过分光镜反射后形成第一垂直光路，在该第一垂直光路放置第一光学平板，激光通过第一光学平板后形成两条水平光路，在下面光路a中沿激光前进方向依序设置第一光楔、第二光楔；在上面光路b中沿激光前进方向先后放置第三光楔、第四光楔；在第二光楔和第四光楔后放置一高带宽声光偏转器，该声光偏转器可调制多种波长的激光，其带宽至少为40MHz，衍射效率大于60％；光路a与光路b均通过声光偏转器且均以θ角度出射，出射角θ等于sinθ，声光偏转器与射频功率放大器连接，射频功率放大器与直接数字频率合成器相连，该直接数字频率合成器的频率调节范围大于40MHz，而直接数字频率合成器与计算机相连，并由计算机控制；分别在光路a和b中，位于声光偏转器之后，根据光线出射角度放置空间滤波器和反射镜，在反射镜之后a光路中放置扩束系统，在b光路中放置缩束系统，在扩束系统与缩束系统后再放置第二光学平板，光路a与b通过第二光学平板后形成第二垂直光路，在该第二垂直光路沿激光前进方向放置CCD，CCD与计算机相连。

2.根据权利要求1所述的用于非球面光学模具在机检测的新装置，其特征在于：该扩束系统和缩束系统由完全相同的透镜组成，保证由此引起的光路a与光路b的光程差相同，其光束口径可微调。

3.根据权利要求1所述的用于非球面光学模具在机检测的新装置，其特征在于：该第一光学平板和第二光学平板为大小相等的长方体，前后面抛光，材料均为K9玻璃，两平板中心距离为平板厚度的6-8倍。

4.根据权利要求1所述的用于非球面光学模具在机检测的新装置，其特征在于：该第一光楔、第二光楔、第三光楔和第四光楔均为尺寸和材料完全相同的圆形光楔，第一光楔、第二光楔同轴放置在a光路中，无楔角面相对放置并留有极小缝隙，采用电动装置使它们同步同向/反向绕轴转动；以同样方式把第三光楔、第四光楔放置在b光路中，操作时绕轴转动；第一光楔与第二光楔形成一个光楔对，同样，第三光楔与第四光楔也形成一个光楔对，作用是精密调节光束到声光偏转器的布拉格衍射角位置。