[发明专利]一种真空镀膜机的工件架在审
申请号: | 201410009021.X | 申请日: | 2014-01-06 |
公开(公告)号: | CN104762597A | 公开(公告)日: | 2015-07-08 |
发明(设计)人: | 吴军 | 申请(专利权)人: | 天津普利爱特真空镀膜有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 天津市新天方有限责任专利代理事务所 12104 | 代理人: | 李桂英 |
地址: | 300350 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 工件 | ||
技术领域
本发明涉及一种真空镀膜设备,尤其是涉及一种真空镀膜机的工件架。
背景技术
在现代科学技术与工业生产中,真空镀膜技术占有非常重要的地位。在镀膜过程中,由于对于蒸镀的材料进行高温加热,造成真空腔体内温度过高以及真空度过低等原因,会造成蒸镀完的工件边缘会出现“黑边”,影响工件的镀膜质量;另外,对于不同的工件我们需要不同的工件架与之配套,这样会造成资源的浪费,并且在工件架的拆卸过程中也会造成效率的降低。
发明内容
本发明的目的是提供一种真空镀膜机的工件架,结构简单,能够防止工件边缘”黑边”的出现,提高镀膜质量,并且能够对不同尺寸的工件进行镀膜,节省人力物力,降低了成本。
本发明的技术方案是:一种真空镀膜机的工件架,包括中心轴和若干十字架;所述的十字架上设置有可以放置基板的模板槽;任意十字架的开口处设置有挡板;所述的挡板与中心轴活动连接。
进一步的,所述的模板槽底部两侧分别设置有滑槽;所述的滑槽内设置有滑板;所述的滑槽与滑板活动连接。
进一步的,所述的十字架形状可以为“十”字形或者“*”形。
进一步的,所述的挡板可以拆卸。
本发明具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案,结构简单,能够防止工件边缘”黑边”的出现,提高镀膜质量,并且能够对不同尺寸的工件进行镀膜,节省人力物力,降低了成本。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是模板槽的结构示意图。
图中:
具体实施方式
下面结合附图对本发明做详细说明。
如图1-2所示,本发明一种真空镀膜机的工件架,包括中心轴1和若干十字架2;所述的十字架2上设置有可以放置基板的模板槽3;任意十字架2的开口处设置有挡板4;所述的挡板4与中心轴1活动连接。
进一步的,所述的模板槽3底部两侧分别设置有滑槽5;所述的滑槽5内设置有滑板6;所述的滑槽5与滑板6活动连接。
进一步的,所述的十字架2形状可以为“十”字形或者“*”形。
进一步的,所述的挡板4可以拆卸。
使用时,挡板4可以防止工件“黑边”的现象;另外,将工件放入模板槽3内,根据工件尺寸的大小调节模板槽3底部的滑板6的位置,这样可以适用于不同尺寸的工件,省时省力,节省资源。
以上对本发明的一个实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本发明的较佳实施例,不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。
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