[发明专利]一种真空镀膜机的工件架在审

专利信息
申请号: 201410009021.X 申请日: 2014-01-06
公开(公告)号: CN104762597A 公开(公告)日: 2015-07-08
发明(设计)人: 吴军 申请(专利权)人: 天津普利爱特真空镀膜有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/50
代理公司: 天津市新天方有限责任专利代理事务所 12104 代理人: 李桂英
地址: 300350 天津*** 国省代码: 天津;12
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 工件
【说明书】:

技术领域

本发明涉及一种真空镀膜设备,尤其是涉及一种真空镀膜机的工件架。

背景技术

在现代科学技术与工业生产中,真空镀膜技术占有非常重要的地位。在镀膜过程中,由于对于蒸镀的材料进行高温加热,造成真空腔体内温度过高以及真空度过低等原因,会造成蒸镀完的工件边缘会出现“黑边”,影响工件的镀膜质量;另外,对于不同的工件我们需要不同的工件架与之配套,这样会造成资源的浪费,并且在工件架的拆卸过程中也会造成效率的降低。

发明内容

本发明的目的是提供一种真空镀膜机的工件架,结构简单,能够防止工件边缘”黑边”的出现,提高镀膜质量,并且能够对不同尺寸的工件进行镀膜,节省人力物力,降低了成本。

本发明的技术方案是:一种真空镀膜机的工件架,包括中心轴和若干十字架;所述的十字架上设置有可以放置基板的模板槽;任意十字架的开口处设置有挡板;所述的挡板与中心轴活动连接。

进一步的,所述的模板槽底部两侧分别设置有滑槽;所述的滑槽内设置有滑板;所述的滑槽与滑板活动连接。

进一步的,所述的十字架形状可以为“十”字形或者“*”形。

进一步的,所述的挡板可以拆卸。

本发明具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案,结构简单,能够防止工件边缘”黑边”的出现,提高镀膜质量,并且能够对不同尺寸的工件进行镀膜,节省人力物力,降低了成本。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是模板槽的结构示意图。

图中:

具体实施方式

下面结合附图对本发明做详细说明。

如图1-2所示,本发明一种真空镀膜机的工件架,包括中心轴1和若干十字架2;所述的十字架2上设置有可以放置基板的模板槽3;任意十字架2的开口处设置有挡板4;所述的挡板4与中心轴1活动连接。

进一步的,所述的模板槽3底部两侧分别设置有滑槽5;所述的滑槽5内设置有滑板6;所述的滑槽5与滑板6活动连接。

进一步的,所述的十字架2形状可以为“十”字形或者“*”形。

进一步的,所述的挡板4可以拆卸。

使用时,挡板4可以防止工件“黑边”的现象;另外,将工件放入模板槽3内,根据工件尺寸的大小调节模板槽3底部的滑板6的位置,这样可以适用于不同尺寸的工件,省时省力,节省资源。

以上对本发明的一个实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本发明的较佳实施例,不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津普利爱特真空镀膜有限公司,未经天津普利爱特真空镀膜有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410009021.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top