[发明专利]超高精度力传感器

权利要求书

1.一种新型的超高精度力传感器，主要由杠杆1、衔铁2、电磁铁3、电磁铁支座4、支撑柱5、旋转机构6、杠杆平衡检测装置7、底板8、闭环控制系统等组成，其特征是：杠杆1通过旋转机构固定6在底板8上，并且可以绕着旋转机构6旋转，杠杆1前端连接着衔铁2，通过电磁铁3吸附衔铁2可以使杠杆1绕着旋转机构6发生旋转，支撑柱5跟杠杆1末端配合，用于承受压力，通过杠杆平衡装置7，可以检测杠杆1是否恢复到初始位置，从而通过闭环系统来控制电磁铁3的电磁力的大小，使杠杆1恢复到初始位置。

2.如权利要求1所述的超高精度力传感器，其特征是：所述杠杆1可以根据实际需求，调整尺寸。

3.如权利要求1所述的超高精度力传感器，其特征是：所述旋杠杆平衡检测装置7，可以由压力传感器、位移传感器或者是其它能检测杠杆是否恢复到初始位置的任意传感器构成。

4.如权利要求1所述的超高精度力传感器，其特征是：所述电磁铁支座4、支撑柱5、旋转机构6等构件机构可以根据实际安装高度需要，调整高度。

5.如权利要求1所述的超高精度力传感器，其特征是：所述底板8，可以根据需要调整形状。

6.如权利要求1所述的超高精度力传感器，其特征是：所述电磁铁3，可以是任意其它形状电磁铁。