[发明专利]微机电装置

权利要求书

1.一种微机电装置，其特征在于，包含：

一基板，包含多个第一电极、多个第二电极、一第一区、一第二区及一蚀刻区，该蚀刻区位于该基板的中央，该第一区与该第二区相对，该些第一电极等距地位于该第一区，该些第二电极等距地位于该第二区；

一质量块，设置于该蚀刻区的中央，该质量块包含多个第三电极、多个第四电极、一第一侧边及一第二侧边，该第一侧边与该第二侧边相对，该些第三电极等距地位于该第一侧边，该些第四电极等距地位于该第二侧边；以及

多个悬臂，分别设置于该基板的周围与该质量块的周围之间，该些悬臂用以支撑该质量块，使该质量块与该基板相隔一第一距离；

其中每一该第一电极平行于一轴向且沿该轴向自该第一区朝该第一侧边延伸出一第二距离，每一该第三电极平行于该轴向且沿该轴向自该第一侧边朝该第一区延伸出一第三距离，该些第一电极与该些第三电极交叉相对，该第二距离和该第三距离大于一半的该第一距离且不大于该第一距离；

其中每一该第二电极平行于该轴向且沿该轴向自该第二区朝该第二侧边延伸出该第二距离，每一该第四电极平行于该轴向且沿该轴向自该第二侧边朝该第二区延伸出该第三距离，该些第二电极与该些第三电极交叉相对。

2.如权利要求1所述的微机电装置，其特征在于，该基板的材料为硅。

3.如权利要求1所述的微机电装置，其特征在于，该质量块为二氧化硅。

4.如权利要求3所述的微机电装置，其特征在于，该质量块的热膨胀系数为0.5ppm/℃。

5.如权利要求4所述的微机电装置，其特征在于，该质量块更包含一连接层，该连接层的材料为钨。

6.如如权利要求5所述的微机电装置，其特征在于，该连接层的热膨胀系数为4ppm/℃。

7.如权利要求1所述的微机电装置，其特征在于，该质量块的热膨胀系数为3ppm/℃。

8.如权利要求7所述的微机电装置，其特征在于，该质量块更包含一披覆层，该披覆层的材料为金属或氧化物。

9.如权利要求8所述的微机电装置，其特征在于，该披覆层的热膨胀系数为0.5ppm/℃。

10.如权利要求1所述的微机电装置，其特征在于，该些悬臂的材料为金属。