[发明专利]场效应管的制造方法

权利要求书

1.一种场效应管的制造方法，其特征在于，包括：

在形成有源区的初始氧化层表面涂覆第一光刻胶，形成第一胶层；

在所述第一胶层上形成截止环；

对所述第一胶层进行第一次干法去除；

间隔设定时间后，再对所述第一胶层进行第二次干法去除；

在所述初始氧化层上形成终端环。

2.根据权利要求1所述的场效应管的制造方法，其特征在于，所述设定时间为大于20分钟。

3.根据权利要求2所述的场效应管的制造方法，其特征在于，所述设定时间为30分钟。

4.根据权利要求3所述的场效应管的制造方法，其特征在于，在所述在间隔设定时间后，再对所述第一胶层进行第二次干法去除之后，还包括：

间隔所述设定时间后，再对所述第一胶层进行第三次干法去除。

5.根据权利要求3所述的场效应管的制造方法，其特征在于，在所述间隔设定时间后，再对所述第一胶层进行第二次干法去除之后，还包括：

对所述第一胶层进行湿法去除和清洗。

6.根据权利要求4或5所述的场效应管的制造方法，其特征在于：

所述第一次干法去除包括：采用等离子体进行干法去除；

所述第二次干法去除包括：采用等离子体进行干法去除。

7.根据权利要求6所述的场效应管的制造方法，其特征在于，所述在形成有有源区的初始氧化层表面涂覆第一光刻胶之前，还包括：

在衬底上依次形成外延层和初始氧化层；

在所述初始氧化层上形成有源区。

8.根据权利要求7所述的场效应管的制造方法，其特征在于，所述在所述第一胶层上形成截止环，包括：

对所述第一胶层进行光刻和刻蚀处理，形成截止环区域；

在所述截止环区域中注入第一杂质，形成截止环。

9.根据权利要求8所述的场效应管的制造方法，其特征在于，所述在所述初始氧化层上形成终端环，包括：

在所述初始氧化层的表面涂覆第二光刻胶，形成第二胶层；

对所述第二胶层进行光刻和刻蚀处理，形成终端环区域；

在所述终端环区域中注入第二杂质，形成终端环。

10.根据权利要求9所述的场效应管的制造方法，其特征在于：所述第一杂质为N型杂质；

所述第二杂质为P型杂质。