[发明专利]制造用于传感元件的接收器的方法

说明书

本发明涉及用于制造适于传感元件、特别是适于燃烧室压力传感器的接收器（10）的方法。通过这种方法能够以特别简单的和低成本的方式成型用于传感元件的接收器（10），该接收器具有内置的和气密性导入陶瓷体的导体带。本发明还涉及用于制造传感装置的方法以及涉及接收器（10）。

技术领域

本发明涉及一种用于制造适于传感元件的接收器的方法。本发明还涉及一种适于传感元件的接收器。

背景技术

传感元件广泛用于探测各种物质。作为例如基于半导体（如基于硅/碳化硅材料组合）制造的直接测量式燃烧室压力传感器，例如己知在500℃或更高的使用温度下例如在内燃机废气中使用的传感元件。对这类传感器或传感元件，具有电引线的密封性阻隔是有利的。

由DE 102009000463已知一种用于制造气体传感器的阻隔模件的方法。该文献涉及一种此类传感元件，并未涉及适用于此的接收器（Aufnahme）。

发明内容

本发明的主题是用于制造适于传感元件、特别是适于燃烧室压力传感器的接收器的方法，该方法包括下列方法步骤：

a） 将初次量的预陶瓷物质导入压铸模具中；

b） 通过所述压铸模具中的预陶瓷物质的成型而形成所述接收器的基层；

c） 在所述基层上施加至少一条导体带；

d） 将附加量的预陶瓷物质导入所述压铸模具中的所述基层和所述至少一条导体带的至少部分区域上；

e） 通过所述压铸模具中的附加预陶瓷物质的成型直接在所述基层上形成所述接收器的覆盖区域从而至少部分覆盖住所述至少一条导体带；

f） 将所述成型体脱粘（Entbindern）和烧结。

通过上述方法可特别简单和低成本地制造陶瓷的和特别是配置有内置的和呈气密性导入的金属导体带的用于传感元件的接收器。这种接收器可特别适用于燃烧室压力传感器，因为该接收器在可靠的气密性下可经受高的运行温度。

按上述方法，在第一方法步骤a）中将初次量的预陶瓷物质导入压铸模具中。本发明中，预陶瓷物质可特别是通过一个或多个步骤可成型成陶瓷固体的物质。在此，该预陶瓷物质可以是适于陶瓷压铸（CIM）的本己知的物质。由此，预陶瓷物质特别可以是一种也称为进料的可烧结的粉末或具有合适粒度的颗粒，其可包括特别是氧化物陶瓷、硅酸盐陶瓷和氮化物陶瓷或也可以是碳化物，并且还可与添加物（特别是粘合剂材料）组合存在。

与粘合剂组合的目的特别是可以用粘合剂包封所有粉末颗粒，由此可防止结块，并产生特别均匀的颗粒。

为成型预陶瓷物质，将其导入压铸模具中。

在接下来的方法步骤b）中，通过在压铸模具中成型预陶瓷物质可形成该接收器的基层。这时例如可调节对陶瓷压铸本己知的参数。示例性地且非限制性地可应用直到200℃范围的物料温度、直到80℃范围的如用于冷却该物料的模具温度、直到1600 bar的注入压力、直到1200 bar的下游压力和/或约大于或等于20秒至小于或等于60秒范围的循环时间。如此成型的并也称为坯件的成型构件作为预压铸件。

通过该成型步骤可得到一种例如呈半侧的或在合适位置扁平成型的或其它形式成型（如波状成型）的分离的模制体作为用于接收器的基层。在打开压铸模具后该基层可留在该模具中或型腔中，并可不受限地按如下所述在该基层上施加至少一条导体带。