[发明专利]一种六氟化硫气体组分分析仪

权利要求书

1.一种六氟化硫气体组分分析仪，其特征在于，包括大气室（1）、电源（26）和电路控制板（27）；

所述大气室（1）左侧壁上设有红外光源（2）和光路输出窗口（3），且所述大气室（1）后壁上设有大气室进气口（4）和大气室出气口（5）；

所述大气室（1）外部左侧设有氦氖光源（6）、第一反射镜（7）和第二反射镜（8）；所述第一反射镜（7）设置在所述氦氖光源（6）的入射光束光路上，所述第二反射镜（8）位于所述第一反射镜（7）的反射光束光路上，且所述光路输出窗口（3）位于所述第二反射镜（8）的反射光束光路上；

所述大气室（1）内部设有干涉仪（9）及位于所述干涉仪（9）后方的传感器（18）；

所述干涉仪（9）包括设置在所述红外光源（2）入射光束光路上和所述第二反射镜（8）反射光束光路上的第三反射镜（10）、设置在所述第三反射镜（10）反射光束光路上的第四反射镜（11）、设置在所述第四反射镜（11）反射光束光路上的分束器（12）、设置在所述分束器（12）右上方位置的红外全反射镜（13）、设置在所述分束器（12）透射光束光路上的激光探测器（14）和第五反射镜（15）、位于所述第五反射镜（15）反射光束光路上的小气室（16）及位于所述小气室（16）出射光束光路上的红外探测器（17）；

所述电源（26）为上述各结构供电；所述电路控制板（27）控制红外光源（2）、氦氖光源（6）、小气室（16）和电源（26）的运行，接收并处理所述传感器（18）、激光探测器（14）、红外探测器（17）和小气室（16）传输的信号。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫气体组分分析仪，其特征在于，所述传感器（18）为湿度传感器。

3.根据权利要求1所述的六氟化硫气体组分分析仪，其特征在于，还包括位于所述大气室（1）外部并与所述大气室（1）相连的液氮罐（19），所述液氮罐（19）还通过管道分别与激光探测器（14）和红外探测器（17）相连。

4.根据权利要求1所述的六氟化硫气体组分分析仪，其特征在于，所述小气室（16）左侧壁和右侧壁上分别设有光线输入口（20）和光线输出口（21），且小气室（16）顶端设有小气室进气口（22）和小气室出气口（23）。

5.根据权利要求4所述的六氟化硫气体组分分析仪，其特征在于，所述小气室（16）外部设有位于所述第五反射镜（15）反射光束光路上的第六反射镜（24）和位于所述第六反射镜（24）反射光束光路上的第七反射镜（25），且所述光线输入口（20）位于所述第七反射镜（25）的反射光束光路上。