[发明专利]涂布探针及其制作方法

权利要求书

1.一种涂布探针，其特征在于，包括：

一探针本体，具有一末端；

一披覆层，覆盖所述探针本体的末端的表面，其中所述披覆层包括一纳米碳材层以及一疏水层，其中所述纳米碳材层位于所述探针本体的末端与所述疏水层之间，且所述纳米碳材层包括纳米碳球。

2.根据权利要求1所述的涂布探针，其特征在于，所述探针本体的材料包括金属、合金或其组合。

3.根据权利要求2所述的涂布探针，其特征在于，所述金属是选自由Cu、Pd、Ag、Au、Re以及W所组成的族群。

4.根据权利要求1所述的涂布探针，其特征在于，所述披覆层的厚度为50nm至1μm。

5.根据权利要求1所述的涂布探针，其特征在于，所述纳米碳球的粒径为100nm至10nm。

6.根据权利要求1所述的涂布探针，其特征在于，所述纳米碳材层包括：

一连接基，包括酰胺键以及巯基；以及

所述纳米碳球，通过所述连接基的所述巯基与所述探针本体的末端键结在一起。

7.根据权利要求6所述的涂布探针，其特征在于，所述纳米碳球的粒径为100nm至10nm。

8.根据权利要求1所述的涂布探针，其特征在于，所述疏水层包括含氟硅烷基，所述含氟硅烷基由-Si(CHF)_nF表示，其中n为正整数，且1≤n≤10。

9.根据权利要求1所述的涂布探针，其特征在于，所述披覆层还包括一反应性交联物质，其中所述反应性交联物质使所述探针本体的末端与所述纳米碳球交联在一起，或使所述纳米碳球交联在一起，以使得所述反应性交联物质与所述纳米碳球构成网状结构。

10.根据权利要求9所述的涂布探针，其特征在于，所述反应性交联物质包括1,2-双(三氯甲硅烷基)乙烷以及1,6-双(三氯甲硅烷基)己烷。

11.根据权利要求9所述的涂布探针，其特征在于，所述反应性交联物质包括两种以上的反应性官能基。

12.根据权利要求11所述的涂布探针，其特征在于，所述反应性官能基是选自由-OH、-SH、-COOH、-SiH、-SiOR及-NH₂所组成的族群。

13.一种涂布探针的制作方法，其特征在于，包括：

提供一探针本体，所述探针本体具有一末端，其中所述探针本体的材料包括金属、合金或其组合；

将一纳米碳材改质，使所述纳米碳材的表面含有-COOH基，其中所述纳米碳材包括纳米碳球；

将所述表面含有-COOH基的纳米碳材与带有胺基的硫醇进行反应，使所述纳米碳材的表面含有巯基(-SH)；

将所述探针本体的末端置于所述表面含有巯基的纳米碳材溶液中进行反应，以在所述探针本体的末端的表面形成一纳米碳材层；以及

将形成于所述探针本体的末端的表面上的所述纳米碳材层与一氟硅烷高分子进行反应，以形成一疏水层，其中所述纳米碳材层位于所述末端与所述疏水层之间。

14.一种涂布探针的制作方法，其特征在于，包括：

提供一探针本体，所述探针本体具有一末端，其中所述探针本体的材料包括金属、合金或其组合；

通过蒸镀，将一纳米碳材沉积于所述末端的表面，以在所述探针本体的末端的表面形成一纳米碳材层，其中所述纳米碳材包括纳米碳球；以及

将形成于所述末端表面上的所述纳米碳材层与一氟硅烷高分子进行反应，以形成一疏水层，其中所述纳米碳材层位于所述末端与所述疏水层之间。