[发明专利]一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器有效
| 申请号： | 201410014276.5 | 申请日： | 2014-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN104776954B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 刘月明;邹建宇;陈浩;夏忠诚;高晓良 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 光纤光栅 谐振子 真空度传感器 光激励 传感器 光纤传感器技术 光纤定向耦合器 抗电磁干扰性能 中心波长变化 微型化 光电探测器 光栅 测量真空 传感探头 多点监测 反射信号 金属镀膜 空气阻尼 匹配滤波 品质因数 实时在线 谐振幅度 影响光纤 匹配液 微加工 影响器 | ||
【权利要求书】：
1.一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器，包括LD光源(1)、光纤定向耦合器(2)、光电探测器(3)、传感探头(4)、匹配液(5)、微加工的光纤光栅(6)、金属镀膜(7)、匹配滤波FBG(8)；所述的LD光源(1)与光纤定向耦合器的一端口(100)连接，定向耦合器的二端口(101)连接匹配滤波FBG(8)，光电探测器(3)连接匹配滤波FBG(8)的另一端，光纤定向耦合器的三端口(102)与传感探头(4)连接，光纤定向耦合器的四端口(103)浸入匹配液(5)组成完整的真空度探测系统，其特征在于：光纤光栅悬臂梁谐振子基于单模光纤端面加工出一段D型悬臂梁，然后再在D型悬臂梁上微加工写入光栅结构，形成光纤光栅悬臂梁谐振子器件结构；光纤光栅悬臂梁谐振子也可直接在单模光纤的光栅结构基础上，腐蚀去掉光栅结构上半部分包层和部分纤芯而成；光纤光栅悬臂梁谐振子长度为0.5mm至3mm，厚度10μm至50μm，宽度100μm至125μm。
2.根据权利要求1所述的一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器，所述的光纤光栅悬臂梁谐振子表面镀有金属薄膜，镀膜材料为金和铬，镀膜厚度根据悬臂梁厚度优化选择。
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