[发明专利]切削装置

说明书

技术领域

本发明涉及一边从轮罩（wheel cover）向切削刀提供切削液一边利用切削刀对被加工物进行切削的切削装置。

背景技术

使用切削刀对半导体晶片、光盘晶片、封装基板或各种玻璃、陶瓷基板等被加工物进行切削的切削装置被广泛利用。切削装置一边从轮罩的多个部分向圆板状的切削刀提供切削液，一边将切削刀切入被加工物中来进行切削。在切削加工中，通过切削液来冷却加工热，并从被加工物上冲洗伴随切削而产生的切削屑。在轮罩上形成有从前方向切削刀提供切削液的供给孔（喷嘴孔）。

该情况下，如果没有从供给孔向切削刀在适当的位置提供切削液，则无法充分地冷却切削加工中的加工热。因此，除了在切削刀中发生异常磨耗或烧焦而使加工质量显著恶化以外，还可能使切削刀和被加工物破损。同样，如果从供给孔向切削刀的切削液的供给不适当，则切削屑无法从被加工物上排出而附着在被加工物上。由于难以洗净干燥后的切削屑，因此还需要对附着了切削屑的被加工物再次进一步洗净。

因此，希望从轮罩的前侧的供给孔向切削刀的厚度方向的中央处提供切削液。此外，有时即使将供给孔的中央与切削刀对齐，当变更切削刀的厚度时，切削刀的位置也从供给孔的中央偏离，除此以外，还存在供给孔的位置随着时间的经过而偏离的情况。因此，需要在切削刀的厚度变更时或任意时刻对供给孔的位置进行调整。一般而言，切削刀的厚度薄为大约10μm～500μm，难以将供给孔调整到切削刀的厚度方向的中央。因此，提出了具有能够针对切削刀细微调整供给孔的位置的轮罩的切削装置（例如，参照专利文献1）。

专利文献1：日本特开2006-187849号公报

然而，即使是专利文献1所记载的轮罩，也无法一边从正面直接目视切削刀的厚度方向的中央，一边进行切削液的供给孔的位置对齐。由于通过从侧方的目视将供给孔与切削刀的厚度方向的中央处位置对齐，因此无法精密地进行调整。特别是在相对式双切割机的情况下，由于作业者需要在切削刀间进行调整，因此供给孔的位置对齐作业困难。因此，来自轮罩的前侧的供给孔的切削液在切削刀的切削刃处没有被2等分，切削刀可能产生晃动或倾斜。

发明内容

本发明是鉴于该问题而完成的，其目的在于，提供能够针对切削刀容易且精密地调整切削液的供给孔的切削装置。

本发明的切削装置具有：保持被加工物的卡盘台；切削单元，其将切削刀以能够旋转的方式安装于主轴上，该切削刀在外周具有对保持在该卡盘台上的被加工物进行切削的切削刃，该主轴在Y方向上具有旋转轴；轮罩，其安装在收纳该主轴的主轴外壳上；以及切削液模块（block），其以能够在作为切削刀的厚度方向的Y方向上进行调整的方式安装在该轮罩上，并且具有供给孔，该供给孔从该切削刀的外周方向朝向该切削刀提供切削液，该切削装置的特征在于，该切削液模块具有：供给路径，其与该供给孔连通，并在与Y方向正交的方向上延伸；目视孔，其形成在该切削液模块的侧表面上；以及目视路径，其与该Y方向正交，并从该切削液模块的该目视孔向该切削刀侧贯通而形成，当将该切削液模块在Y方向上移动而将该目视孔定位成被被该切削刀的切削刃2等分时，该供给孔被定位在被该切削刀2等分的位置处。

根据该结构，能够一边通过目视孔直切视觉确认切削刀的厚度方向的中央，一边将目视孔定位成被切削刀的切削刃2等分。伴随目视孔的定位，供给孔也被高精度地定位成被切削刀的切削刃2等分，因此，能够向切削刀的两个侧表面均匀地提供切削液。因此，能够有效地冷却切削刀，并且，不会在切削刀中产生晃动和倾斜，能够提高对被加工物的切削精度。此外，由于能够通过目视孔直接视觉确认切削刀的厚度方向的中央，因此能够容易地进行切削液模块的位置调整。

根据本发明，一边通过目视孔直接视觉确认切削刀一边调整切削液模块的位置，由此能够针对切削刀容易且精密地调整切削液的供给孔。

附图说明

图1是本实施方式的切削装置的立体图。

图2是本实施方式的切削单元的立体图。

图3是本发明的实施方式的切削单元的俯视示意图，其中，图3A是切削单元的主视图，图3B是切削单元的侧视图。

图4是针对本实施方式的切削刀的供给孔的位置调整的说明图，其中，图4A所示的是初始状态，图4B所示的是伴随目视孔的位置调整的供给孔的位置调整的说明图。

图5是变形例的切削单元的俯视示意图。

标号说明

1：切削装置

3：卡盘台

4：切削单元

41：切削刀

42：轮罩