[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，具备：

可动锤；

可动电极部，其从所述可动锤延伸设置；

固定部，其以与所述可动锤的端部对置的方式而设置；

固定电极部，其以在所述可动锤进行位移的第一方向上与所述可动电极部隔开间隙(d1)的方式而设置；

在所述可动锤的所述端部上，在与所述固定部对置的位置处设置有凹部，

在所述固定部上，设置有朝向所述可动锤而延伸的第一止动部，

所述第一止动部的顶端被插入至所述凹部内，并且所述顶端与所述可动锤之间的间隙(d2)窄于所述间隙(d1)。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一止动部朝向所述第一方向而延伸。

3.如权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，

所述可动电极部在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸设置，所述间隙(d1)为，所述可动电极部与所述固定电极部之间的间隙。

4.如权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，

在所述凹部上，设置有在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸设置的第一突起。

5.如权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，

在所述凹部上，设置有在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸设置的第一突起。

6.如权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，

在所述第一止动部上，设置有在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸设置的第二止动部。

7.如权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，

在所述第一止动部上，设置有在所述第二方向上延伸设置的第二止动部。

8.如权利要求6所述的物理量传感器，其特征在于，

在所述第二止动部上，设置有在所述第一方向上延伸设置的第二突起。

9.如权利要求7所述的物理量传感器，其特征在于，

在所述第二止动部上，设置有在所述第一方向上延伸设置的第二突起。

10.如权利要求6所述的物理量传感器，其特征在于，

在所述可动锤上，在与所述第二止动部对置的位置处设置有第三突起。

11.如权利要求7所述的物理量传感器，其特征在于，

在所述可动锤上，在与所述第二止动部对置的位置处设置有第三突起。

12.一种电子设备，其特征在于，

搭载有权利要求1所述的物理量传感器。

13.一种移动体，其特征在于，

搭载有权利要求1所述的物理量传感器。