[发明专利]球面波前测试干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法

权利要求书

1.球面移相式干涉仪高度传递函数测试装置，其特征是，由移相式干涉仪主机（1）出射的光经过球面测试基准镜头（4）后形成球面波，在球面测试基准镜头（4）的球心后45°放置高度传递函数测试基准板（3），光由高度传递函数测试基准板（3）反射到高精度球面反射镜（5），再由高精度球面反射镜（5）反射后原路返回至干涉仪主机（1）与由球面测试基准镜头（4）形成的参考光相干涉。

2.基于权利要求1的球面移相式干涉仪高度传递函数测试方法，其特征是，包括以下步骤：

步骤一，安装干涉仪球面测试基准镜头（4）在干涉仪主机（1）上；

步骤二，打开移相式干涉仪主机（1）和与其配套的计算机电源开关；

步骤三，在干涉仪球面测试基准镜头（4）的球心后面45°放置高度传递函数测试基准板（3）使光路折转，在其后放置高精度球面反射镜（5），使其球心与干涉仪球面测试基准镜头（4）的球心重合；

步骤四，在干涉仪主机（1）上可获得高度传递函数测试基准板（3）的图像，通过干涉仪主机（1）测试采集相移图像将得到高度传递函数测试基准板（3）的面形测试图，测试基准板的高度测试结果hi；

步骤五，建立计算模型，通过高度测试结果hi与基准板相应频域的高度值h₀相比较，测得干涉仪高度测试传递函数值H=h_i/h₀。

3.球面移相式干涉仪高度传递函数测试装置，其特征是，由移相式干涉仪主机（1）出射的光经过球面测试基准镜头（4）后形成球面波，在球面测试基准镜头（4）的球心后放置高精度球面透射镜头（6），光经过高精度球面透射镜头（6）后透射到测试基准板（3）反射后原路返回至干涉仪主机（1）与由球面测试基准镜头（4）形成的参考光相干涉。

4.基于权利要求3的球面移相式干涉仪高度传递函数测试方法，其特征是，包括以下步骤：

步骤一，安装干涉仪球面测试基准镜头（4）在干涉仪主机（1）上；

步骤二，打开移相式干涉仪主机（1）和与其配套的计算机电源开关；

步骤三，放置高精度球面透射镜头（6），使其焦点与球面测试基准镜头（4）的球心重合、光轴一致，在高精度球面透射镜头（6）后面将出射平行光；在高精度球面透射镜头（6）后放置高度传递函数测试基准板（3）；

步骤四，在干涉仪主机（1）上可获得高度传递函数测试基准板（3）的图像，通过干涉仪主机（1）测试采集相移图像将得到高度传递函数测试基准板（3）的面形测试图，测试基准板的高度测试结果hi；

步骤五，建立计算模型，通过高度测试结果hi与基准板相应频域的高度值h₀相比较，测得干涉仪高度测试传递函数值H=h_i/h₀。