[发明专利]蒸镀源在审
申请号: | 201410018043.2 | 申请日: | 2014-01-15 |
公开(公告)号: | CN104419898A | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
发明(设计)人: | 高晟洙;金在福;宋原准;李宽熙 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/12 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 张云珠;韩明星 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀源 | ||
1.一种蒸镀源,包括:
主体部件,形成为使有机物从上侧排出;
加热单元,包括形成于所述主体部件的下部的第一线圈部和形成于所述主体部件的上部且比所述第一线圈部释放相对更多的热量的第二线圈部。
2.如权利要求1所述的蒸镀源,其中,所述第一线圈部和第二线圈部由相互连接的一个线圈构成。
3.如权利要求2所述的蒸镀源,其中,所述第二线圈部的长度形成为比所述第一线圈部的长度更长。
4.如权利要求2所述的蒸镀源,其中,所述第二线圈部形成为比所述第一线圈部稠密。
5.如权利要求1所述的蒸镀源,其中,当沿所述主体部件的高度方向观察时,所述第一线圈部形成于所述主体部件的中间部分的下侧,所述第二线圈部形成于所述中间部分的上侧。
6.如权利要求1所述的蒸镀源,其中,所述蒸镀源包括向所述第一线圈部和第二线圈部提供电源的一个电源部。
7.如权利要求1所述的蒸镀源,其中,在所述第二线圈部的热释放量为在所述第一线圈部的热释放量的两倍。
8.如权利要求1所述的蒸镀源,其中,所述第一线圈部和第二线圈部包围所述主体部件的外周表面而形成。
9.如权利要求1所述的蒸镀源,其中,所述主体部件形成有内部空间,
所述第一线圈部和第二线圈部形成于围住所述主体部件的内部空间的所述主体部件的内壁面。
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