[发明专利]密封传动装置

权利要求书

1.一种密封传动装置，其特征在于，包括： 

传动轴，其末端具有外螺纹； 

壳体，位于所述传动轴的外围，其上端的壳体法兰与薄膜沉积腔室下方的传动轴孔密封扣合，所述传动轴上部突出壳体法兰的部分伸入薄膜沉积腔室内，其后端位于薄膜沉积腔室之外； 

轴套，设置于所述壳体和所述传动轴之间，其末端与所述传动轴的末端通过O型密封圈密封； 

轴承，其在径向上设置于所述轴套和壳体之间，其在轴向上位于所述壳体的中部，用于固定所述轴套，并使所述轴套和传动轴可相对于壳体转动； 

无轴伺服电机，其在轴向上位于所述轴承和壳体末端之间，其在径向上位于所述轴套与壳体之间，其定子固定在所述壳体上，其转子通过键与所述轴套卡合，用于带动轴套和传动轴转动；以及 

轴高度调节组件，其在径向上位于所述传动轴的外围，其在轴向上固定在轴套末端，其上端通过密封压套顶住所述O型密封圈，其内侧具有与传动轴末端外螺纹相匹配的内螺纹，通过旋转所述传动轴或所述轴高度调节组件，实现传动轴高度的调节。 

2.根据权利要求1所述的密封传动装置，其特征在于，所述轴高度调节组件包括： 

止动垫圈，为具有一定厚度的圆环形加工件，其内部带有凸状键，与传动轴底部的键槽相咬合，并且其外围均布若干个圆孔； 

后压盖，为具有一定厚度的环形加工件，圆环上均布若干个圆孔，位于止动垫圈的外侧，与止动垫圈、轴套的孔相对应，后压盖内部带有内螺纹； 

其中，传动轴的底部具有外螺纹，后压盖具有与之匹配的内螺纹，后压盖的位置固定，通过旋转后压盖即可调节传动轴的高度，高度调整好之后通过螺钉将所述后压盖、止动垫圈、密封压套、轴套依次固定在一起；同时通过此处的螺钉固定，使密封压套压紧传动轴和轴套之间的O型密封 圈。 

3.根据权利要求2所述的密封传动组件，其特征在于，所述止动垫圈的外围均布6个圆孔，与轴套底部的6个螺孔相对应，所述后压盖的外围均布12个圆孔。 

4.根据权利要求2所述的密封传动组件，其特征在于，所述密封压套为法兰状，其外围带有6个均布的圆孔。 

5.根据权利要求1所述的密封传动装置，其特征在于，还包括： 

磁流体密封组件，呈圆环形，其在轴向上位于壳体上端的所述壳体法兰与所述轴承之间，其在径向上位于所述壳体和轴套之间，用于对所述壳体和所述轴套之间的空隙进行磁流体密封。 

6.根据权利要求5所述的密封传动装置，其特征在于，在所述磁流体密封组件外侧，壳体内侧具有一向上吹入薄膜沉积腔室内部的保护气体的气路，通过该气路相薄膜沉积腔室内吹入保护气体，用来降低薄膜沉积腔室内部的热流对磁性密封液的热冲击，同时降低薄膜沉积腔室内部灰尘流入磁流体密封组件内部。 

7.根据权利要求5所述的密封传动装置，其特征在于，所述磁流体密封组件水冷系统的出水口和进水口与外界水冷系统的相应口连接。 

8.根据权利要求1所述的密封传动装置，其特征在于，通过旋转接头装置完成外界水冷系统与传动轴底部的连接，对传动轴进行轴心水冷。 

9.根据权利要求1所述的密封传动装置，其特征在于，在伺服电机的外侧壳体部分设计了环形水冷槽，该环形水冷槽的出水口和进水口与外界水冷系统的相应口连接。 

10.根据权利要求1至9中任一项所述的密封传动装置，其特征在于，应用于于化学气相沉积设备中； 

在壳体法兰顶端与薄膜沉积腔室相对接位置采用了环形的凸台结构，该凸台结构嵌入在薄膜沉积腔室的底部。