[发明专利]含微量稀土元素的镍钒合金磁控溅射旋转靶材及制备方法

权利要求书

1.含微量稀土元素的镍钒合金磁控溅射旋转靶材，其特征在于该合金靶材成分按重量百分比计为：0.002%~0.05%RE，5%~9%V，余量为Ni和不可避免的杂质。

2.一种制备权利要求1所述的含微量稀土元素的镍钒合金磁控溅射旋转靶材的制备方法，其步骤如下：

⑴原料准备：电解镍、海绵钒、稀土（RE混合稀土），按重量百分比，合金成分为：0.002%~0.05%RE，5%~9%V，余量为Ni和不可避免的杂质，其杂质含量﹤0.1%；

⑵真空冶炼：清除电解镍表面污垢及氧化物后放入坩埚中，通电熔炼，熔炼温度为1550~1650℃，熔炼时间为80min，熔炼过程中真空度小于8Pa，铸锭前在真空状态中先通氩气4Mpa，然后再加入海绵钒铁及混合稀土； 

⑶浇注：在真空和氩气保护下进行浇注，浇注后在真空室内静置50min，待铸锭完全凝固后打开炉门，脱模，锯切头尾、车剥表面氧化皮，加工后的铸锭呈圆柱形，光锭尺寸为 Φ220（大头）×Φ185（小头）×470（高）mm；

⑷热锻：将步骤（3）中铸锭加热至1250℃，保温半小时后，进行锻造，开锻温度为1250℃，终锻温度为1020℃，锻造尺寸为 Φ95～Φ100×Lmm，然后再进行模锻，锻造尺寸为 （Φ92～Φ94）×Lmm；锻棒经切头尾，剥氧化皮，两头定中心孔，中心孔尺寸为Φ20×Φ20mm，光棒尺寸为Φ88～90×600mm；

⑸热穿孔或热挤压：热穿孔或热挤压的温度1000℃~1200℃, 热穿孔或热挤压后的尺寸规格为外径D：60～180 mm 、壁厚S：45～150 mm 、长度Lmm；

⑹退火处理：退火温度800~880℃，保温1~1.5小时；

⑺冷拉：经表面清洗干净的荒管进行拉制，冷拉加工变形率为50~80%；

⑻机加工：经车床精加工，制成外径D：60～180 mm 、壁厚S：15～35 mm 、长度L: 1000～6000 mm的Ni-V-RE旋转靶材。

3. 根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于步骤（8）所述的Ni-V-RE旋转靶材的晶粒度为20μm～80μm，且晶粒大小分布均匀。