[发明专利]基板检测系统

权利要求书

1.一种基板检测系统，其特征在于，所述基板检测系统包含：

一置料装置，其用以置放至少一基板；

一载运装置，其用以载运置放于该置料装置的该基板；

一第一基板吸附载台，其可活动地设置于一第一导轨上，用以吸附该载运装置所置放的该基板；以及

一第一检测装置，其用以检测置设于该第一基板吸附载台的该基板。

2.根据权利要求1的基板检测系统，其特征在于，所述基板检测系统进一步包含一第二基板吸附载台、一基板翻转装置及一第二检测装置，该第二基板吸附载台可活动地设置于一第二导轨上，而该第二导轨邻近该第一导轨设置，该基板翻转装置用以翻转该第一基板吸附载台上的该基板，并将翻转后的该基板置放于该第二基板吸附载台，以使该基板受该第二检测装置检测。

3.根据权利要求2的基板检测系统，其特征在于，该基板翻转装置包含一第一夹爪模块及一第二夹爪模块，该第一夹爪模块与该第二夹爪模块相对应的分别邻近于该第一导轨及该第二导轨的一侧设置；其中，该第一夹爪模块用以夹取设置于该第一基板吸附载台的该基板，该第二夹爪模块用以夹取该第一夹爪模块的该基板，并将该基板设置于该第二基板吸附载台。

4.根据权利要求3的基板检测系统，其特征在于，该第一夹爪模块及该第二夹爪模块分别包含至少一组夹爪，且该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台的一载台本体分别包含至少一组可对应容置该夹爪的沟槽。

5.根据权利要求2至4中任一项的基板检测系统，其特征在于，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台分别包含一挡板，且该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台分别连接一倾斜装置，该倾斜装置用以使该第一基板倾斜装置及该第二基板吸附载台的该载台本体倾斜，而使设置于该载台本体上的该基板的一侧边抵靠于该挡板。

6.根据权利要求2至4中任一项的基板检测系统，其特征在于，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台分别包含一第一阻气模块、数个第二阻气模块及数个吸附孔，该第一阻气模块可选择地启闭至少一列X方向的该些吸附孔，而各该第二阻气模块可选择地启闭至少一排Y方向的该些吸附孔。

7.根据权利要求6的基板检测系统，其特征在于，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台进一步分别包含：

一主气道，其与一抽气装置相连接，且该主气道包含数个主气孔；

数个第一气道，各该第一气道分别与该主气道的各该主气孔相连通，且各该第一气道包含数个第一气孔；以及

数个第二气道，各该第二气道包含数个第二气孔，各该第二气孔分别对应与一排的该些吸附孔相连通，且各该第一气道的各该第一气孔分别对应与该第二气道相连通；

其中，该第一阻气模块可活动地设置于该主气道中，以可选择地关闭至少一主气孔，各该第二阻气模块分别设置于各该第二气道中，以可选择地关闭至少一该第二气孔。

8.根据权利要求2至4中任一项的基板检测系统，其特征在于，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台进一步分别包含一第一阻气模块、一第二阻气模块及数个吸附孔，该第一阻气模块可选择地启闭至少一列X方向的该些吸附孔，而该第二阻气模块可选择地启闭至少一排Y方向的该些吸附孔。

9.根据权利要求8的基板检测系统，其特征在于，该第一基板吸附载台及该第二基板吸附载台进一步分别包含：

一主气道，其与一抽气装置相连接，且该主气道包含数个主气孔；

数个第一气道，各该第一气道分别与X方向各列的该些吸附孔相连通，且各该第一气道分别与各该主气孔相连通；

一次气道，其与该抽气装置相连接，且该次气道包含数个次气孔；以及

数个第二气道，各该第二气道分别与Y方向各排的该些吸附孔相连通，且各该第二气道分别与各该次气孔相连通；

其中，该第一阻气模块可活动地设置于该主气道中，以可选择地关闭至少一该主气孔，该第二阻气模块设置于该次气道中，以可选择地关闭至少一该次气孔。

10.根据权利要求2至4中任一项的基板检测系统，其特征在于，所述基板检测系统进一步包含一防迭片装置，其包含一感测模块及至少一弹性夹持臂；当该载运装置将其所载运的该基板，置放于该夹持模块时，该基板抵顶该弹性夹持臂，而该感测模块据以感测该基板的厚度。