[发明专利]太阳能电池的N型晶体硅衬底的清洗处理方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的N型晶体硅衬底的清洗处理方法，其特征在于该方法的步骤如下：

（1）用去离子水冲洗经过制绒处理后的N型晶体硅衬底，然后将其浸渍在浓硫酸和过氧化氢的混合溶液中5~15min，并保证温度80~100℃，完成后再用去离子水冲洗衬底；其中，浓硫酸和过氧化氢的配比为1：1~1:4；

（2）接着将衬底浸泡于含有2%氯化氢和3%氢氟酸的混合溶液中2~3min，之后再用去离子水冲洗干净；

（3）接着将衬底浸渍在配比为1：1：6、温度为60℃~80℃的氯化氢：过氧化氢：水的混合液中洗涤10~15min，之后再用去离子水冲洗，然后将衬底表面烘干待用；

（4）接着将干燥的衬底进行刻蚀处理，然后再用去离子水冲洗；

（5）接着将衬底浸泡在含有2%氯化氢和3%氢氟酸的混合溶液中2~3min，之后再用去离子水冲洗干净；

（6）接着在60℃~80℃条件下，使用配比为1：1：4的一水合氨：过氧化氢：水的混合液对衬底预清洗处理；

（7）接着将衬底浸泡在含有48%氟化铵和1%氢氟酸的混合溶液中1~3min，之后再用去离子水冲洗干净；

（8）接着在50℃条件下，使用配比为1:5的过氧化氢：水的溶液中对衬底进行原子级粗糙度调整，时间为0.5~2min，并且过氧化氢：水的溶液中含有2%的氢氟酸；

（9）接着在60℃~80℃条件下，将衬底浸泡在配比为1:1:5的一水合氨：过氧化氢：水混合液中10~15min，之后再用去离子水冲洗干净；

（10）接着将衬底浸泡在含有2%~5%氢氟酸的溶液中2~3min，之后再用去离子水冲洗干净；

（11）接着将衬底转移至循环热水中，并保证水浴温度为80~100℃，时间为2~3小时，完成后吹干即可。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池的N型晶体硅衬底的清洗处理方法，其特征在于：步骤（1）中的制绒处理工艺采用含有制绒辅助剂的氢氧化钾溶液。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池的N型晶体硅衬底的清洗处理方法，其特征在于：所述的步骤（4）中的刻蚀工艺为：将经过步骤（3）后的衬底置于氢氟酸和硝酸的混合溶液中进行刻蚀1~3min；其中，氢氟酸和硝酸的配比为1:18~1:35。

4.根据权利要求1或2所述的太阳能电池的N型晶体硅衬底的清洗处理方法，其特征在于：所述的步骤（3）中的烘干和步骤（11）中的吹干均采用热氮气。