[发明专利]一种软板用显影、蚀刻连退膜设备

权利要求书

1.一种软板用显影、蚀刻及退膜设备，其特征在于：包括显影机构、蚀刻机构、退膜机构、清洗机构、干板机构、送料机构、收料机构；

所述显影机构，其设置在所述设备的入口端，其包含有第一药水缸、第一摇摆架喷淋设备、传送软板的第一软包胶辘输送装置及设置在所述第一药水缸中的除泡沫装置；

所述蚀刻机构，其设置在所述显影机构后，且位于所述清洗机构的出口端，其包含有第二药水缸、第二摇摆架喷淋设备、传送软板的第二软包胶辘输送装置及设置在所述第二摇摆架喷淋设备的喷嘴两旁的真空水刀装置；

所述退膜机构，其设置在所述蚀刻机构后，且位于所述清洗机构的出口端，其包含有第三药水缸、第一喷管喷淋设备、传送软板的第三软包胶辘输送装置及设置在所述第三药水缸上面的滚筒收膜渣装置；

所述清洗机构，其设置在所述显影机构、所述蚀刻机构、所述退膜机构的出口端，其包含有水洗缸、第二喷管喷淋设备、传送软板的第四软包胶辘输送装置；

所述干板机构，其设置在所述退膜机构后，且位于所述清洗机构的出口端，其包含有强风组合、热合组合及过滤风箱装置；

所述送料机构，其设置在所述显影机构的入口端；

所述收料机构，其设置在所述干板机构的出口端。

2.如权利要求 1 所述的软板用显影、蚀刻及退膜设备，其特征在于：所述送料机构包括第一机体，所述第一机体上设置有第一放料轴、第二放料轴和两个第一张力前后轴，由所述第一放料轴或所述第二放料轴送出连续的软板，软板经过第一张力前后轴后被所述送料机构的传动系统卷出并进行输送。

3.如权利要求 2 所述的软板用显影、蚀刻及退膜设备，其特征在于：两个所述第一张力前后轴间设有第一张力检知轮轴，所述第一张力前后轴上设有压制软板的第一张力轴。

4.如权利要求 2 所述的软板用显影、蚀刻及退膜设备，其特征在于：所述第一机体上设置有卷收软板保护膜的收膜轴。

5.如权利要求 1 所述的软板用显影、蚀刻及退膜设备，其特征在于：所述收料机构包括第二机体，所述第二机体上设置有第三收料轴、第四收料轴及两个第二张力前后轴，所述第三收料轴或所述第四收料轴卷收被输送系统卷出并已加工好的软板。

6.如权利要求 5 所述的软板用显影、蚀刻及退膜设备，其特征在于：两个所述第二张力前轴间设有第二张力检知轮轴，所述第二张力前后轴设有压制软板的第二张力轴。