[发明专利]一种涂布装置有效
申请号: | 201410019884.5 | 申请日: | 2014-01-16 |
公开(公告)号: | CN103771719A | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 焦宇 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;陈源 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装置 | ||
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种涂布装置。
背景技术
在液晶显示面板的制作工艺中,需要在玻璃基板上涂布感光材料,之后进行曝光显影,以使感光材料形成相应的图案,并且,可以根据该图案进行后续刻蚀工艺以得到相应的电路图案。
现有的感光材料涂布装置如图1和图2所示,喷嘴1能够在外部压力的作用下,均匀地将装在其内部的感光材料涂布在基板5上。现有结构中,喷嘴1的两端固定在固定板3上,固定板3穿过固定支架2的中部的孔隙,并通过可调紧固件4与固定支架2的下部连接。可调紧固件4可以用于调节固定板3与固定支架2下部之间的距离,从而能够调节喷嘴1与基板5之间的间隙距离。喷嘴1能够随固定支架2移动,从而能够从基板5的一端向另一端涂布感光材料。
现有的结构中,由于喷嘴1是通过两端支撑,喷嘴1的中部位置可能会受其自身的重力影响而下垂,使得喷嘴1中部位置与基板5之间的间隙变小,从而导致基板5中间位置的感光材料涂布异常,进而影响后续的曝光显影工艺。可见,现有的涂布装置中缺乏检测喷嘴的下端面与基台之间间隙距离的检测方式,无法保证感光材料的涂布正常进行。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的在于提供一种涂布装置,以能够检测喷嘴与基板之间的间隙距离,从而保证感光材料的涂布正常进行。
为实现上述目的,本发明提供一种涂布装置,所述涂布装置包括喷嘴和基台,所述涂布装置还包括检测单元,所述检测单元用于检测所述喷嘴的下端面与所述基台之间的间隙距离。
优选地,所述检测单元包括光发射器和光接收器,所述光发射器和所述光接收器分别设置在所述基台的两端,所述光接收器能够接收所述光发射器发射的光线,所述涂布装置还包括控制单元,所述控制单元用于根据所述光接收器是否接受到所述光发射器发射的光线判断所述喷嘴的下端面与所述基台之间的间隙距离是否异常。
优选地,所述光发射器包括下部光发射器,所述光接收器包括与所述下部光发射器对应的下部光接收器,所述下部光发射器和所述下部光接收器设置在所述喷嘴的下端面的下方的预设位置;
或者,所述光发射器包括上部光发射器,所述光接收器包括与所述上部光发射器对应的上部光接收器,所述上部光发射器和所述上部光接收器设置在所述喷嘴的下端面的上方的预设位置。
优选地,所述检测单元包括多个所述光发射器和与多个所述光发射器对应的多个所述光接收器,以能够检测所述喷嘴的下端面的不同位置与所述基台之间的间隙距离。
优选地,所述检测单元包括距离传感器,用于检测所述距离传感器与所述基台之间的距离,所述涂布装置还包括控制单元,所述控制单元用于根据所述距离传感器的检测结果判断所述喷嘴的下端面与所述基台之间的间隙距离是否异常。
优选地,所述涂布装置还包括固定件,所述固定件包括第一固定板和固定支架,所述第一固定板的一端与所述喷嘴连接,所述第一固定板的另一端与所述固定支架相连,所述固定件能够从所述基台的一端移动到所述基台的另一端。
优选地,所述固定支架包括竖直部和水平部,所述竖直部上设置有孔,所述第一固定板的另一端穿过所述竖直部上的孔,通过第一连接件与所述水平部连接,且所述第一连接件能够调节所述第一固定板与所述水平部之间的距离。
优选地,所述固定件还包括第二固定板,所述第二固定板与所述固定支架固定连接并位于所述喷嘴上方,且所述第二固定板通过第二连接件与所述喷嘴连接。
优选地,所述第二连接件能够调节所述喷嘴与所述第二固定板之间的距离,所述涂布装置还包括调节单元,所述控制单元还用于在所述喷嘴的下端面与所述基台之间的间隙距离异常时向所述调节单元发送调节指令,所述调节单元用于根据所述调节指令调整所述第二连接件以调节所述第二固定板与所述喷嘴之间的距离。
优选地,所述调节单元包括线性马达,所述线性马达固定设置在所述第二固定板上,且所述线性马达的输出轴与所述第二连接件相连。
可以看出,本发明所提供的涂布装置通过设置检测检测喷嘴下端面与基台之间的间隙距离,能够判断喷嘴下端面与基台之间的间隙距离是否异常。与现有技术相比,本发明能够检测到喷嘴下垂或上移等异常情况,能够有效保证涂布过程顺利进行。此外,本发明还能在发现异常情况后自动调节喷嘴的高度,使得喷嘴下端面与基台之间的间隙距离在正常范围内。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本发明,但并不构成对本发明的限制。在附图中:
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