[发明专利]真空升华装置在审
| 申请号： | 201410021600.6 | 申请日： | 2014-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN104784962A | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | 刘屹东;高涛 | 申请（专利权）人： | 方圆环球光电技术盐城有限公司;未名光电盐城有限公司 |
| 主分类号： | B01D7/00 | 分类号： | B01D7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 224005 江苏省盐城市盐渎路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 升华 装置 | ||
【权利要求书】：
1.真空升华装置，其特征在于，包括：坩埚、加热源、真空腔室、材料收集板、控温装置、取样装置、放气阀、隔离板，隔离板位于真空腔室之间，通过控制隔离板，将真空腔室隔离成两部分。
2.如权利要求1所述的真空升华装置，其特征在于，所述取样装置为推拉杆或机械手柄夹具装置。
3.如权利要求1所述的真空升华装置，其特征在于，所述材料收集板与取样装置连接，放气阀与真空腔室连通。
4.如权利要求1或3所述的真空升华装置，其特征在于，所述控温装置位于材料收集板上方。
5.如权利要求1所述的真空升华装置，其特征在于，所述隔离板为伸缩装置或推拉装置或翻转装置。
6.如权利要求1所述的真空升华装置，其特征在于，所述坩埚不少于两个。
7.如权利要求1所述的真空升华装置，其特征在于，所述加热源的数量和坩埚的数量相同。
8.如权利要求1所述的真空升华装置，其特征在于，所述加热源为一个。
9.如权利要求8所述的真空升华装置，其特征在于，还包括旋转托盘，将坩埚置于旋转托盘上，通过旋转坩埚或加热源，将坩埚置于加热源上方。
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