[发明专利]探针点测系统

权利要求书

1.一种探针点测系统，其特征在于，包含：

一升降载台，其用以承载一待测物；

至少一个探针装置，其位于所述升降载台上方，所述至少一个探针装置包含：

一力臂；

一探针，其连接于所述力臂的一端；以及

至少一个感应元件，其位于所述力臂上，当所述力臂受力而变形时，所述至少一个感应元件随所述力臂的变形量而产生一观测值变化，用以作为调整所述探针高度的依据；

至少一个形变感应回路，其电性连接所述至少一个感应元件，用以接收所述观测值变化；

一接触感应回路，其包含；

一电源；以及

一针压感应单元，其电性连接所述电源，且具有一升压元件与一探针连接线路，其中所述探针连接线路与所述升压元件并联；

一测试回路，其用以通过所述至少一个探针装置输入一电流至所述待测物；以及

一第一开关与一第二开关，所述第一与所述第二开关与所述至少一个探针装置电性连接，当所述至少一个探针接触所述待测物时，所述第一开关与所述第二开关选择性地电性连接所述探针连接线路或所述测试回路。

2.如权利要求1所述的探针点测系统，其特征在于，当所述至少一个探针装置的数量为一个时，包含：

所述升降载台用以电性接触所述待测物底面的一接点；以及

具有一形变感应回路，且当所述探针接触所述待测物时，所述升降载台通过所述第二开关选择性地电性连接所述探针连接线路或所述测试回路。

3.如权利要求1所述的探针点测系统，其特征在于，当所述至少一个探针装置的数量为两个时，具有两个形变感应回路，且所述第一开关与所述第二开关具有相同的电性连接关系。

4.如权利要求1所述的探针点测系统，其特征在于，该探针点测系统还包含：

至少一个控制器，其电性连接所述升降载台、所述至少一个形变感应回路、所述接触感应回路、所述测试回路、所述第一开关与所述第二开关。

5.如权利要求1所述的探针点测系统，其特征在于，所述力臂具有贯穿的一镂空区，且所述镂空区的长度方向与所述力臂的长度方向相同。

6.如权利要求1所述的探针点测系统，其特征在于，所述至少一个形变感应回路、所述接触感应回路与所述测试回路均为独立的回路。

7.如权利要求1所述的探针点测系统，其特征在于，该探针电测系统还包含：

一针压设定装置，其电性连接所述至少一个形变感应回路。

8.如权利要求7所述的探针点测系统，其特征在于，所述针压设定装置具有所述观测值变化的一目标值，所述探针点测系统还包含：

一警示元件，其电性连接所述针压设定装置，当所述观测值变化超出所述目标值时，所述警示元件发出一警示信号。

9.如权利要求1所述的探针点测系统，其特征在于，其中所述接触感应回路还包含：

一分压元件，其电性连接所述电源，且与所述针压感应单元串联。

10.如权利要求1所述的探针点测系统，其特征在于，其中所述至少一个感应元件为一应变规或一压电材料。

11.如权利要求1所述的探针点测系统，其特征在于，其中所述观测值为一电阻值或一电压值。